Оптикалык жука пленкалуу түзүлүштөрдү өндүрүү вакуумдук камерада жүргүзүлөт жана пленка катмарынын өсүшү микроскопиялык процесс болуп саналат. Бирок, азыркы учурда түздөн-түз башкарылуучу макроскопиялык процесстер пленка катмарынын сапаты менен кыйыр байланышы бар кээ бир макроскопиялык факторлор болуп саналат. Ошого карабастан, узак мөөнөттүү тынымсыз эксперименталдык изилдөөлөр аркылуу адамдар пленканын сапаты менен бул макро факторлордун ортосундагы үзгүлтүксүз байланышты табышты, бул пленка саякат түзүлүштөрүн өндүрүүнү жетектөөчү процесстин спецификациясына айланды жана жогорку сапаттагы оптикалык жука пленкалуу түзүлүштөрдү өндүрүүдө маанилүү ролду ойнойт.
1. Вакуумдук каптоонун таасири
Вакуум даражасынын пленканын касиеттерине тийгизген таасири калдык газ менен пленканын атомдору жана молекулаларынын ортосундагы газ фазасынын кагылышуусунан келип чыккан энергиянын жоголушуна жана химиялык реакцияга байланыштуу. Эгерде вакуум даражасы төмөн болсо, пленка материалынын буу молекулалары менен калган газ молекулаларынын биригүү ыктымалдыгы жогорулайт жана буу молекулаларынын кинетикалык энергиясы бир топ төмөндөйт, бул буу молекулаларынын субстратка жете албай калышына же субстраттагы газдын адсорбциялык катмарын жарып өтө албай калышына же газдын адсорбциялык катмарын араң жарып өтүшүнө, бирок субстрат менен адсорбциялык энергия өтө аз болушуна алып келет. Натыйжада, оптикалык жука пленка түзмөктөрү тарабынан чөктүрүлгөн пленка бош, топтолуу тыгыздыгы төмөн, механикалык бекемдиги начар, химиялык курамы таза эмес жана пленка катмарынын сынуу көрсөткүчү жана катуулугу начар.
Жалпысынан алганда, вакуумдун көбөйүшү менен пленканын түзүлүшү жакшырат, химиялык курамы таза болот, бирок чыңалуу жогорулайт. Металл пленкасынын жана жарым өткөргүч пленканын тазалыгы канчалык жогору болсо, ошончолук жакшы, алар вакуумдун даражасына көз каранды, бул түз боштукту талап кылат. Вакуумдун даражасына таасир этүүчү пленкалардын негизги касиеттери - сынуу көрсөткүчү, чачыратуу, механикалык бекемдик жана эрибестик.
2. Депозитациянын деңгээлинин таасири
Чөкмө ылдамдыгы – бул пленканын чөкмө ылдамдыгын мүнөздөгөн процесстик параметр, ал бирдик убакытта каптаманын бетинде пайда болгон пленканын калыңдыгы менен көрсөтүлөт жана бирдик нм·с-1.
Чөкмө ылдамдыгы пленканын сынуу көрсөткүчүнө, катуулугуна, механикалык бекемдигине, адгезиясына жана чыңалуусуна айкын таасир этет. Эгерде чөкмө ылдамдыгы төмөн болсо, буу молекулаларынын көпчүлүгү субстраттан кайтып келет, кристалл ядролорунун пайда болушу жай жүрөт жана конденсация чоң агрегаттарда гана жүргүзүлүшү мүмкүн, ошентип пленканын түзүлүшү жумшак болот. Чөкмө ылдамдыгынын жогорулашы менен майда жана тыгыз пленка пайда болот, жарыктын чачырашы азаят жана катуулугу жогорулайт. Ошондуктан, пленканын чөкмө ылдамдыгын кантип туура тандоо буулануу процессинде маанилүү маселе болуп саналат жана конкреттүү тандоо пленканын материалына жараша аныкталышы керек.
Чөкмө ылдамдыгын жогорулатуунун эки ыкмасы бар: (1) буулануу булагынын температурасын жогорулатуу ыкмасы (2) буулануу булагынын аянтын көбөйтүү ыкмасы.
Жарыяланган убактысы: 2024-жылдын 29-марты