Optik yupqa plyonkali qurilmalarni ishlab chiqarish vakuum kamerasida amalga oshiriladi va plyonka qatlamining o'sishi mikroskopik jarayondir. Biroq, hozirgi vaqtda to'g'ridan-to'g'ri boshqarilishi mumkin bo'lgan makroskopik jarayonlar plyonka qatlamining sifati bilan bilvosita bog'liq bo'lgan ba'zi makroskopik omillardir. Shunga qaramay, uzoq muddatli doimiy eksperimental tadqiqotlar orqali odamlar plyonka sifati va ushbu makro omillar o'rtasidagi muntazam bog'liqlikni aniqladilar, bu plyonkali sayohat qurilmalarini ishlab chiqarishga yo'naltiruvchi jarayon spetsifikatsiyasiga aylandi va yuqori sifatli optik yupqa plyonkali qurilmalarni ishlab chiqarishda muhim rol o'ynaydi.
1. Vakuum qoplamasining ta'siri
Vakuum darajasining plyonka xususiyatlariga ta'siri energiya yo'qotilishi va qoldiq gaz va plyonka atomlari va molekulalari o'rtasidagi gaz fazasi to'qnashuvi natijasida yuzaga keladigan kimyoviy reaksiya bilan bog'liq. Agar vakuum darajasi past bo'lsa, plyonka materialining bug 'molekulalari va qolgan gaz molekulalari o'rtasida birlashish ehtimoli oshadi va bug 'molekulalarining kinetik energiyasi sezilarli darajada kamayadi, bu esa bug 'molekulalarining substratga yetib bora olmasligiga yoki substratdagi gaz adsorbsiya qatlamini yorib o'tolmasligiga yoki gaz adsorbsiya qatlamini zo'rg'a yorib o'tishiga olib keladi, ammo substrat bilan adsorbsiya energiyasi juda kichik bo'ladi. Natijada, optik yupqa plyonka qurilmalari tomonidan qo'yilgan plyonka bo'shashgan, to'planish zichligi past, mexanik mustahkamlik yomon, kimyoviy tarkibi sof emas va plyonka qatlamining sinish ko'rsatkichi va qattiqligi yomon.
Odatda, vakuumning oshishi bilan plyonkaning tuzilishi yaxshilanadi, kimyoviy tarkibi sof bo'ladi, ammo kuchlanish kuchayadi. Metall plyonka va yarimo'tkazgich plyonkaning sofligi qanchalik yuqori bo'lsa, shuncha yaxshi, ular vakuum darajasiga bog'liq bo'lib, bu esa yuqori to'g'ridan-to'g'ri bo'shliqni talab qiladi. Vakuum darajasiga ta'sir qiluvchi plyonkalarning asosiy xususiyatlari sinish ko'rsatkichi, sochilish, mexanik mustahkamlik va erimaslikdir.
2. Cho'kish tezligining ta'siri
Cho'kish tezligi - bu plyonkaning cho'kish tezligini tavsiflovchi jarayon parametri bo'lib, u qoplama yuzasida hosil bo'lgan plyonka qalinligi bilan birlik vaqtida ifodalanadi va birlik nm·s-1 ga teng.
Cho'kish tezligi plyonkaning sinish ko'rsatkichi, qattiqligi, mexanik kuchi, yopishishi va kuchlanishiga aniq ta'sir qiladi. Agar cho'kish tezligi past bo'lsa, bug 'molekulalarining aksariyati substratdan qaytadi, kristall yadrolarining hosil bo'lishi sekinlashadi va kondensatsiya faqat katta agregatlarda amalga oshirilishi mumkin, bu esa plyonkaning tuzilishini bo'shashtiradi. Cho'kish tezligining oshishi bilan ingichka va zich plyonka hosil bo'ladi, yorug'likning tarqalishi kamayadi va qattiqlik oshadi. Shuning uchun, plyonka cho'kish tezligini qanday to'g'ri tanlash bug'lanish jarayonida muhim masala bo'lib, aniq tanlov plyonka materialiga qarab belgilanishi kerak.
Cho'kish tezligini oshirishning ikkita usuli mavjud: (1) bug'lanish manbai haroratini oshirish usuli (2) bug'lanish manbai maydonini oshirish usuli.
Nashr vaqti: 2024-yil 29-mart