ऑप्टिकल थिन फिल्म उपकरणांचे उत्पादन व्हॅक्यूम चेंबरमध्ये केले जाते आणि फिल्मच्या थराची वाढ ही एक सूक्ष्म प्रक्रिया आहे. तथापि, सध्या, ज्या स्थूल प्रक्रिया थेट नियंत्रित केल्या जाऊ शकतात, त्या काही अशा स्थूल घटकांशी संबंधित आहेत ज्यांचा फिल्मच्या थराच्या गुणवत्तेशी अप्रत्यक्ष संबंध असतो. असे असले तरी, दीर्घकाळ चाललेल्या अथक प्रायोगिक संशोधनातून, लोकांना फिल्मची गुणवत्ता आणि हे स्थूल घटक यांच्यातील नियमित संबंध आढळून आला आहे, जो फिल्म ट्रॅव्हल उपकरणांच्या उत्पादनाला मार्गदर्शन करणारा एक प्रक्रिया विनिर्देश बनला आहे आणि उच्च-गुणवत्तेच्या ऑप्टिकल थिन फिल्म उपकरणांच्या निर्मितीमध्ये महत्त्वाची भूमिका बजावतो.
१. व्हॅक्यूम प्लेटिंगचा परिणाम
फिल्मच्या गुणधर्मांवर व्हॅक्यूमच्या प्रमाणाचा प्रभाव हा अवशिष्ट वायू आणि फिल्ममधील अणू व रेणू यांच्यातील वायू अवस्थेतील टक्करांमुळे होणाऱ्या ऊर्जा हानी आणि रासायनिक अभिक्रियेमुळे असतो. जर व्हॅक्यूमचे प्रमाण कमी असेल, तर फिल्मच्या पदार्थाच्या बाष्प रेणू आणि उर्वरित वायू रेणू यांच्यातील संयोगाची शक्यता वाढते आणि बाष्प रेणूंची गतिज ऊर्जा मोठ्या प्रमाणात कमी होते. यामुळे बाष्प रेणू सब्सट्रेटपर्यंत पोहोचू शकत नाहीत, किंवा सब्सट्रेटवरील वायू अधिशोषण थर भेदण्यास असमर्थ ठरतात, किंवा जेमतेम वायू अधिशोषण थर भेदूनही सब्सट्रेटसोबतची अधिशोषण ऊर्जा खूपच कमी असते. परिणामी, ऑप्टिकल थिन फिल्म उपकरणांद्वारे जमा केलेली फिल्म ढिली होते, संचय घनता कमी असते, यांत्रिक शक्ती कमी असते, रासायनिक रचना शुद्ध नसते आणि फिल्मच्या थराचा अपवर्तनांक व कठीणपणा कमी असतो.
सर्वसाधारणपणे, व्हॅक्यूम वाढल्याने फिल्मची रचना सुधारते, रासायनिक रचना शुद्ध होते, परंतु ताण वाढतो. मेटल फिल्म आणि सेमीकंडक्टर फिल्मची शुद्धता जितकी जास्त असेल, तितके चांगले. ते व्हॅक्यूमच्या प्रमाणावर अवलंबून असतात, ज्यासाठी जास्त थेट पोकळीची आवश्यकता असते. व्हॅक्यूमच्या प्रमाणामुळे प्रभावित होणारे फिल्मचे मुख्य गुणधर्म म्हणजे अपवर्तनांक, विकिरण, यांत्रिक शक्ती आणि अविद्राव्यता.
२. निक्षेपण दराचा प्रभाव
निक्षेपण दर हा एक प्रक्रिया पॅरामीटर आहे जो फिल्मच्या निक्षेपणाचा वेग दर्शवतो, तो प्रति युनिट वेळेत प्लेटिंगच्या पृष्ठभागावर तयार झालेल्या फिल्मच्या जाडीने व्यक्त केला जातो आणि त्याचे एकक nm·s-1 आहे.
निक्षेपण दराचा फिल्मच्या अपवर्तनांक, दृढता, यांत्रिक शक्ती, आसंजन आणि ताणावर स्पष्ट प्रभाव पडतो. जर निक्षेपण दर कमी असेल, तर बहुतेक बाष्पाचे रेणू सब्सट्रेटवरून परत येतात, स्फटिक केंद्रांची निर्मिती मंदावते आणि संघनन केवळ मोठ्या समूहांवरच होऊ शकते, ज्यामुळे फिल्मची रचना सैल होते. निक्षेपण दर वाढल्याने, एक बारीक आणि दाट फिल्म तयार होते, प्रकाश विखुरणे कमी होते आणि दृढता वाढते. म्हणून, फिल्म निक्षेपण दराची योग्य निवड कशी करावी हा बाष्पीभवन प्रक्रियेतील एक महत्त्वाचा मुद्दा आहे आणि ही विशिष्ट निवड फिल्मच्या पदार्थानुसार निश्चित केली पाहिजे.
निक्षेपण दर सुधारण्याचे दोन मार्ग आहेत: (1) बाष्पीभवन स्रोताचे तापमान वाढवण्याची पद्धत (2) बाष्पीभवन स्रोताचे क्षेत्रफळ वाढवण्याची पद्धत.
पोस्ट करण्याची वेळ: २९ मार्च २०२४