A máa ń ṣe àwọn ẹ̀rọ fíìmù onípele tín-tín ní ojú ìta ní yàrá afẹ́fẹ́, ìdàgbàsókè fíìmù náà sì jẹ́ ìlànà kékeré. Síbẹ̀síbẹ̀, lọ́wọ́lọ́wọ́, àwọn ìlànà onípele tí a lè ṣàkóso tààrà ni àwọn ohun pàtàkì kan tí ó ní ìbáṣepọ̀ tí kò ṣe tààrà pẹ̀lú dídára fíìmù náà. Síbẹ̀síbẹ̀, nípasẹ̀ ìwádìí àyẹ̀wò ìgbà pípẹ́, àwọn ènìyàn ti rí ìbáṣepọ̀ déédéé láàárín dídára fíìmù náà àti àwọn ohun pàtàkì wọ̀nyí, èyí tí ó ti di ìlànà ìlànà láti darí ṣíṣe àwọn ẹ̀rọ ìrìn àjò fíìmù, ó sì ń kó ipa pàtàkì nínú ṣíṣe àwọn ẹ̀rọ fíìmù onípele tín-tín tó ga jùlọ.
1. Àkóbá ìbòrí afẹ́fẹ́
Ipa ti iwọn vacuum lori awọn ohun-ini fiimu naa jẹ nitori pipadanu agbara ati iṣe kemikali ti o waye nipasẹ ijamba ipele gaasi laarin gaasi ti o ku ati awọn atomu fiimu ati awọn molikula. Ti iwọn vacuum ba kere, iṣeeṣe idapọ laarin awọn molikula vapo ti ohun elo fiimu ati awọn molikula gaasi ti o ku pọ si, ati agbara kinetic ti awọn molikula vapour dinku pupọ, ti o jẹ ki awọn molikula vapor ko le de substrate naa, tabi ko le fọ nipasẹ fẹlẹfẹlẹ adsorption gaasi lori substrate naa, tabi o kere pupọ lati fọ nipasẹ fẹlẹfẹlẹ adsorption gaasi ṣugbọn agbara adsorption pẹlu substrate naa kere pupọ. Nitori naa, fiimu ti awọn ẹrọ fiimu tinrin opitika fi silẹ jẹ alaimuṣinṣin, iwuwo ikojọpọ kere, agbara mekaniki ko dara, akojọpọ kemikali ko mọ, ati atọka refractive ati lile ti fẹlẹfẹlẹ fiimu naa ko dara.
Ni gbogbogbo, pẹlu ilosoke ti afẹfẹ, eto fiimu naa ni a mu dara si, akojọpọ kemikali di mimọ, ṣugbọn wahala naa pọ si. Bi mimọ ti fiimu irin ati fiimu semiconductor ti ga to, ni o dara julọ, wọn da lori iwọn afẹfẹ, eyiti o nilo ofo taara ti o ga julọ. Awọn ohun-ini akọkọ ti awọn fiimu ti iwọn afẹfẹ ti o ni ipa lori ni atọka refractive, itankale, agbara mekaniki ati aisedeede.
2. Ipa ti oṣuwọn ifiṣura
Ìwọ̀n ìtújáde jẹ́ ìlànà iṣẹ́ tí ó ń ṣàlàyé iyára ìtújáde fíìmù náà, tí a fi hàn nípa sísanra fíìmù tí a ṣe lórí ojú àwo náà ní àkókò ìyọrísí, àti pé ìyọrísí náà jẹ́ nm·s-1.
Ìwọ̀n ìfipamọ́ náà ní ipa tó ṣe kedere lórí àtọ́ka ìfàmọ́ra, ìdúróṣinṣin, agbára ẹ̀rọ, ìfaramọ́ àti ìdààmú fíìmù náà. Tí ìwọ̀n ìfipamọ́ náà bá kéré, ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn mọ́líkúùlù afẹ́fẹ́ máa ń padà láti inú ohun èlò ìpìlẹ̀, ìṣẹ̀dá àwọn ohun èlò kírísítàlì máa ń lọ́ra, ìfọ́mọ́ra sì lè wáyé lórí àwọn ohun èlò ńlá, èyí sì máa ń mú kí ìṣètò fíìmù náà túká. Pẹ̀lú ìbísí ìwọ̀n ìfipamọ́ náà, fíìmù tó dára àti tó nípọn yóò ṣẹ̀dá, ìfọ́mọ́ra ìmọ́lẹ̀ yóò dínkù, ìdúróṣinṣin náà yóò sì pọ̀ sí i. Nítorí náà, bí a ṣe lè yan ìwọ̀n ìfipamọ́ fíìmù náà dáadáa jẹ́ ọ̀rọ̀ pàtàkì nínú ìlànà ìfọ́mọ́ra, a sì gbọ́dọ̀ pinnu yíyàn pàtó gẹ́gẹ́ bí ohun èlò fíìmù náà ṣe rí.
Ọ̀nà méjì ló wà láti mú kí ìwọ̀n ìfipamọ́ sunwọ̀n síi: (1) ọ̀nà ìgbóná orísun ìtújáde pọ̀ síi (2) ọ̀nà ibi tí ìtújáde orísun ìtújáde pọ̀ síi.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹta-29-2024