Optiki inçe plýonka enjamlarynyň öndürilişi wakuum kamerasynda amala aşyrylýar we plýonka gatlagynyň ösüşi mikroskopiki prosesdir. Şeýle-de bolsa, häzirki wagtda gönüden-göni gözegçilik edilip bilinýän makroskopik prosesler plýonka gatlagynyň hiline gytaklaýyn gatnaşygy bolan käbir makroskopik faktorlardyr. Şeýle-de bolsa, uzak möhletli yzygiderli synag barlaglary arkaly adamlar plýonkanyň hili bilen bu makro faktorlaryň arasyndaky yzygiderli gatnaşygy tapdylar, bu bolsa plýonka syýahat enjamlaryny öndürmek üçin ýol görkeziji bolup, ýokary hilli optiki inçe plýonka enjamlaryny öndürmekde möhüm rol oýnaýar.
1. Wakuum örtüginiň täsiri
Wakuum derejesiniň plýonkanyň häsiýetlerine täsiri, galan gaz bilen plýonka atomlarynyň we molekulalarynyň arasyndaky gaz fazasynyň çaknyşmagy netijesinde energiýa ýitgisine we himiki reaksiýa sebäp bolýar. Eger wakuum derejesi pes bolsa, plýonka materialynyň bug molekulalary bilen galan gaz molekulalarynyň arasynda birleşme ähtimallygy artýar we bug molekulalarynyň kinetik energiýasy ep-esli azalýar, bu bolsa bug molekulalarynyň substrata ýetip bilmemegine ýa-da substratdaky gaz adsorbsiýa gatlagyny döwüp bilmemegine ýa-da gazyň adsorbsiýa gatlagyny zor bilen döwüp bilmemegine, ýöne substrat bilen adsorbsiýa energiýasynyň örän az bolmagyna getirýär. Netijede, optiki inçe plýonka enjamlary tarapyndan ýerleşdirilen plýonka boş, toplanma dykyzlygy pes, mehaniki berkligi pes, himiki düzümi arassa däl we plýonka gatlagynyň döwülme görkezijisi we gatylygy pes.
Umuman, wakuumyň artmagy bilen, plýonkanyň gurluşy gowulaşýar, himiki düzümi arassa bolýar, ýöne stres artýar. Metal plýonkasynyň we ýarymgeçiriji plýonkanyň arassalygy näçe ýokary bolsa, şonça-da gowy, olar wakuum derejesine baglydyr, bu bolsa ýokary göni boşlugy talap edýär. Plýonkalaryň wakuum derejesine täsir edýän esasy häsiýetleri synma görkezijisi, saçylma, mehaniki berklik we eremezlikdir.
2. Çöküntüleriň ýaýramagynyň täsiri
Çökme tizligi, örtügiň ýüzünde emele gelen plýonkanyň galyňlygy bilen birlik wagtda aňladylýan, plýonkanyň çökme tizligini häsiýetlendirýän proses parametridir we birlik nm·s-1-dir.
Çökme tizligi plýonkanyň döwülme görkezijisine, berkligine, mehaniki güýjüne, ýelmeşmegine we stresine aýdyň täsir edýär. Çökme tizligi pes bolsa, bug molekulalarynyň köpüsi substratdan gaýdyp gelýär, kristal ýadrolarynyň emele gelmegi haýal bolýar we kondensasiýa diňe uly agregatlarda amala aşyrylyp bilner, şonuň üçin plýonkanyň gurluşy boş bolýar. Çökme tizliginiň ýokarlanmagy bilen inçe we dykyz plýonka emele geler, ýagtylygyň saçramagy azalar we berkligi artar. Şonuň üçin plýonkanyň çökme tizligini nädip dogry saýlamalydygy bugaryş prosesinde möhüm mesele bolup durýar we anyk saýlaw plýonka materialyna görä kesgitlenmelidir.
Çöküntüleriň tizligini ýokarlandyrmagyň iki usuly bar: (1) bugaryş çeşmesiniň temperaturasyny ýokarlandyrmak usuly (2) bugaryş çeşmesiniň meýdanyny artdyrmak usuly.
Ýerleşdirilen wagty: 2024-nji ýylyň 29-njy marty