Оптикалық жұқа пленкалы құрылғыларды өндіру вакуумдық камерада жүзеге асырылады, ал пленка қабатының өсуі микроскопиялық процесс болып табылады. Дегенмен, қазіргі уақытта тікелей басқаруға болатын макроскопиялық процестер пленка қабатының сапасымен жанама байланысы бар кейбір макроскопиялық факторлар болып табылады. Соған қарамастан, ұзақ мерзімді үздіксіз эксперименттік зерттеулер арқылы адамдар пленка сапасы мен осы макро факторлар арасындағы тұрақты байланысты анықтады, бұл пленка саяхат құрылғыларын өндіруді бағыттайтын процестің сипаттамасына айналды және жоғары сапалы оптикалық жұқа пленкалы құрылғыларды өндіруде маңызды рөл атқарады.
1. Вакуумдық қаптаудың әсері
Вакуум дәрежесінің пленканың қасиеттеріне әсері қалдық газ бен пленка атомдары мен молекулалары арасындағы газ фазасының соқтығысуынан туындайтын энергия шығыны мен химиялық реакцияға байланысты. Егер вакуум дәрежесі төмен болса, пленка материалының бу молекулалары мен қалған газ молекулалары арасындағы бірігу ықтималдығы артады және бу молекулаларының кинетикалық энергиясы айтарлықтай төмендейді, бұл бу молекулаларының субстратқа жете алмауына немесе субстраттағы газ адсорбция қабатын бұза алмауына немесе газ адсорбция қабатын әрең бұза алуына әкеледі, бірақ субстратпен адсорбция энергиясы өте аз болады. Нәтижесінде, оптикалық жұқа пленка құрылғылары тұндырған пленка бос, жинақтау тығыздығы төмен, механикалық беріктігі нашар, химиялық құрамы таза емес және пленка қабатының сыну көрсеткіші мен қаттылығы нашар.
Әдетте, вакуумның артуымен пленканың құрылымы жақсарады, химиялық құрамы таза болады, бірақ кернеу артады. Металл пленка мен жартылай өткізгіш пленканың тазалығы неғұрлым жоғары болса, соғұрлым жақсы, олар вакуум дәрежесіне байланысты, бұл жоғары тікелей бос орынды қажет етеді. Вакуум дәрежесіне әсер ететін пленкалардың негізгі қасиеттері - сыну көрсеткіші, шашырауы, механикалық беріктігі және ерімейтіндігі.
2. Тұндырылу жылдамдығының әсері
Тұндыру жылдамдығы - бұл пленканың тұндыру жылдамдығын сипаттайтын процесс параметрі, ол бірлік уақыт ішінде қаптама бетінде пайда болған пленканың қалыңдығымен өрнектеледі, ал бірлік нм·с-1 құрайды.
Тұндыру жылдамдығы пленканың сыну көрсеткішіне, қаттылығына, механикалық беріктігіне, адгезиясына және кернеуіне айқын әсер етеді. Тұндыру жылдамдығы төмен болса, бу молекулаларының көпшілігі субстраттан оралады, кристалдық ядролардың түзілуі баяу жүреді және конденсация тек үлкен агрегаттарда ғана жүзеге асырылуы мүмкін, осылайша пленканың құрылымы босаңсыйды. Тұндыру жылдамдығының артуымен жұқа және тығыз пленка пайда болады, жарықтың шашырауы азаяды және қаттылығы артады. Сондықтан, пленканың тұндыру жылдамдығын қалай дұрыс таңдау керектігі булану процесінде маңызды мәселе болып табылады және нақты таңдау пленка материалына сәйкес анықталуы керек.
Тұндыру жылдамдығын арттырудың екі әдісі бар: (1) булану көзінің температурасын арттыру әдісі (2) булану көзінің ауданын арттыру әдісі.
Жарияланған уақыты: 2024 жылғы 29 наурыз