Utengenezaji wa vifaa vya filamu nyembamba ya macho hufanywa katika chumba cha utupu, na ukuaji wa safu ya filamu ni mchakato wa hadubini. Hata hivyo, kwa sasa, michakato ya hadubini ambayo inaweza kudhibitiwa moja kwa moja ni baadhi ya vipengele vya hadubini ambavyo vina uhusiano usio wa moja kwa moja na ubora wa safu ya filamu. Hata hivyo, kupitia utafiti wa majaribio unaoendelea kwa muda mrefu, watu wamegundua uhusiano wa kawaida kati ya ubora wa filamu na vipengele hivi vya hadubini, ambavyo vimekuwa vipimo vya mchakato wa kuongoza utengenezaji wa vifaa vya usafiri wa filamu, na vina jukumu muhimu katika utengenezaji wa vifaa vya filamu nyembamba ya macho vya ubora wa juu.
1. Athari ya upako wa utupu
Ushawishi wa kiwango cha utupu kwenye sifa za filamu unatokana na upotevu wa nishati na mmenyuko wa kemikali unaosababishwa na mgongano wa awamu ya gesi kati ya gesi iliyobaki na atomi za filamu na molekuli. Ikiwa kiwango cha utupu ni kidogo, uwezekano wa kuunganishwa kati ya molekuli za mvuke za nyenzo za filamu na molekuli za gesi zilizobaki huongezeka, na nishati ya kinetiki ya molekuli za mvuke hupunguzwa sana, na kufanya molekuli za mvuke zishindwe kufikia substrate, au zishindwe kuvunja safu ya ufyonzaji wa gesi kwenye substrate, au zishindwe kuvunja safu ya ufyonzaji wa gesi lakini nishati ya ufyonzaji na substrate ni ndogo sana. Kwa hivyo, filamu iliyowekwa na vifaa vya filamu nyembamba ya macho ni huru, msongamano wa mkusanyiko ni mdogo, nguvu ya mitambo ni duni, muundo wa kemikali si safi, na faharisi ya kuakisi na ugumu wa safu ya filamu ni duni.
Kwa ujumla, kwa kuongezeka kwa utupu, muundo wa filamu huboreshwa, muundo wa kemikali unakuwa safi, lakini mkazo huongezeka. Kadiri usafi wa filamu ya chuma na filamu ya semiconductor unavyoongezeka, ndivyo zinavyokuwa bora zaidi, hutegemea kiwango cha utupu, ambacho kinahitaji utupu wa moja kwa moja wa juu zaidi. Sifa kuu za filamu zilizoathiriwa na kiwango cha utupu ni faharisi ya kuakisi, kutawanyika, nguvu ya mitambo na kutoyeyuka.
2. Ushawishi wa kiwango cha uwekaji
Kiwango cha uwekaji ni kigezo cha mchakato kinachoelezea kasi ya uwekaji wa filamu, inayoonyeshwa na unene wa filamu iliyoundwa kwenye uso wa mchovyo kwa muda wa kitengo, na kitengo ni nm·s-1.
Kiwango cha uwekaji kina ushawishi dhahiri kwenye faharisi ya kuakisi, uimara, nguvu ya mitambo, mshikamano na mkazo wa filamu. Ikiwa kiwango cha uwekaji ni cha chini, molekuli nyingi za mvuke hurudi kutoka kwenye sehemu ya chini, uundaji wa viini vya fuwele ni polepole, na mgandamizo unaweza kufanywa tu kwenye vijisehemu vikubwa, na hivyo kufanya muundo wa filamu kuwa huru. Kwa kuongezeka kwa kiwango cha uwekaji, filamu nyembamba na mnene itaundwa, kutawanyika kwa mwanga kutapungua, na uimara utaongezeka. Kwa hivyo, jinsi ya kuchagua ipasavyo kiwango cha uwekaji wa filamu ni suala muhimu katika mchakato wa uvukizi, na uteuzi maalum unapaswa kuamuliwa kulingana na nyenzo za filamu.
Kuna njia mbili za kuboresha kiwango cha utuaji: (1) kuongeza halijoto ya chanzo cha uvukizi (2) kuongeza njia ya eneo la chanzo cha uvukizi.
Muda wa chapisho: Machi-29-2024