Истеҳсоли дастгоҳҳои плёнкаи тунуки оптикӣ дар камераи вакуумӣ анҷом дода мешавад ва афзоиши қабати плёнка як раванди микроскопӣ аст. Аммо, дар айни замон, равандҳои макроскопӣ, ки мустақиман назорат карда мешаванд, баъзе омилҳои макроскопӣ мебошанд, ки бо сифати қабати плёнка робитаи ғайримустақим доранд. Бо вуҷуди ин, тавассути таҳқиқоти дарозмуддати таҷрибавӣ, одамон робитаи мунтазами байни сифати плёнка ва ин омилҳои макроро пайдо кардаанд, ки ба мушаххасоти раванд барои роҳнамоии истеҳсоли дастгоҳҳои сафари плёнка табдил ёфтааст ва дар истеҳсоли дастгоҳҳои плёнкаи тунуки оптикии баландсифат нақши муҳим мебозад.
1. Таъсири пӯшиши вакуумӣ
Таъсири дараҷаи вакуум ба хосиятҳои плёнка аз талафоти энергия ва аксуламали кимиёвӣ, ки дар натиҷаи бархӯрди фазаи газ байни гази боқимонда ва атомҳо ва молекулаҳои плёнка ба вуҷуд меояд, вобаста аст. Агар дараҷаи вакуум паст бошад, эҳтимолияти омезиш байни молекулаҳои буғи маводи плёнка ва молекулаҳои боқимондаи газ меафзояд ва энергияи кинетикии молекулаҳои буғ хеле кам мешавад, ки боиси он мегардад, ки молекулаҳои буғ ба субстрат нарасанд ё наметавонанд аз қабати адсорбсияи газ дар субстрат гузаранд ё базӯр аз қабати адсорбсияи газ гузаранд, аммо энергияи адсорбсия бо субстрат хеле кам аст. Дар натиҷа, плёнкае, ки тавассути дастгоҳҳои плёнкаи тунуки оптикӣ гузошта мешавад, фуҷур аст, зичии ҷамъшавӣ паст аст, қувваи механикӣ бад аст, таркиби химиявӣ холис нест ва нишондиҳандаи шикаст ва сахтии қабати плёнка бад аст.
Умуман, бо афзоиши вакуум, сохтори плёнка беҳтар мешавад, таркиби химиявӣ холис мешавад, аммо фишор меафзояд. Ҳар қадар покии плёнкаи металлӣ ва плёнкаи нимноқилӣ баландтар бошад, ҳамон қадар беҳтар аст, онҳо аз дараҷаи вакуум вобастаанд, ки холигии мустақими баландтарро талаб мекунад. Хусусиятҳои асосии плёнкаҳое, ки аз дараҷаи вакуум таъсир мегиранд, нишондиҳандаи шикаст, парокандагӣ, қувваи механикӣ ва ҳалнашавандагӣ мебошанд.
2. Таъсири сатҳи пастшавӣ
Суръати таҳшиншавӣ параметри равандест, ки суръати таҳшиншавии плёнкаро тавсиф мекунад ва бо ғафсии плёнкае, ки дар сатҳи рӯйпӯш дар воҳиди вақт ташаккул ёфтааст, ифода карда мешавад ва воҳиди он nm·s-1 аст.
Суръати таҳшиншавӣ ба нишондиҳандаи шикаст, сахтӣ, қувваи механикӣ, часпиш ва фишори плёнка таъсири возеҳ мерасонад. Агар суръати таҳшиншавӣ паст бошад, аксари молекулаҳои буғ аз субстрат бармегарданд, ташаккули ядроҳои кристаллӣ суст аст ва конденсатсия танҳо дар агрегатҳои калон анҷом дода мешавад, ки сохтори плёнкаро суст мекунад. Бо афзоиши суръати таҳшиншавӣ, плёнкаи борик ва зич ба вуҷуд меояд, парокандагии рӯшноӣ кам мешавад ва сахтӣ меафзояд. Аз ин рӯ, чӣ гуна дуруст интихоб кардани суръати таҳшиншавии плёнка масъалаи муҳим дар раванди бухоршавӣ аст ва интихоби мушаххас бояд мувофиқи маводи плёнка муайян карда шавад.
Ду усул барои беҳтар кардани суръати бориш вуҷуд дорад: (1) усули баланд бардоштани ҳарорати манбаи бухоршавӣ (2) усули зиёд кардани майдони манбаи бухоршавӣ.
Вақти нашр: 29 марти соли 2024