Il-kisi PVD (Depożizzjoni Fiżika tal-Fwar) huma tekniki użati ħafna għall-ħolqien ta' films irqaq u kisi tal-wiċċ. Fost il-metodi komuni, l-evaporazzjoni termali u l-isputtering huma żewġ proċessi PVD importanti. Hawnhekk hawn tqassim ta' kull wieħed:
1. Evaporazzjoni Termali
- Prinċipju:Il-materjal jissaħħan f'kamra tal-vakwu sakemm jevapora jew jissublima. Il-materjal vaporizzat imbagħad jikkondensa fuq sottostrat biex jifforma film irqiq.
- Proċess:
- Materjal tas-sors (metall, ċeramika, eċċ.) jissaħħan, ġeneralment bl-użu ta' tisħin reżistiv, raġġ ta' elettroni, jew lejżer.
- Ladarba l-materjal jilħaq il-punt tal-evaporazzjoni tiegħu, l-atomi jew il-molekuli jitilqu mis-sors u jivvjaġġaw mill-vakwu għas-sottostrat.
- L-atomi evaporati jikkondensaw fuq il-wiċċ tas-sottostrat, u jiffurmaw saff irqiq.
- Applikazzjonijiet:
- Komunement użat biex jiddepożita metalli, semikondutturi, u iżolaturi.
- L-applikazzjonijiet jinkludu kisi ottiku, finituri dekorattivi, u mikroelettronika.
- Vantaġġi:
- Rati għoljin ta' depożizzjoni.
- Sempliċi u kosteffettiv għal ċerti materjali.
- Jista' jipproduċi films puri ħafna.
- Żvantaġġi:
- Limitat għal materjali b'punti ta' tidwib baxxi jew pressjonijiet għoljin ta' fwar.
- Kopertura fqira tat-taraġ fuq uċuħ kumplessi.
- Inqas kontroll fuq il-kompożizzjoni tal-film għal-ligi.
2. Sputtering
- Prinċipju: Il-joni minn plażma jiġu aċċellerati lejn materjal fil-mira, u b'hekk l-atomi jiġu mkeċċija (imxerrda) mill-mira, li mbagħad jiddepożitaw fuq is-sottostrat.
- Proċess:
- Materjal fil-mira (metall, liga, eċċ.) jitqiegħed fil-kompartiment, u jiġi introdott gass (tipikament argon).
- Jiġi applikat vultaġġ għoli biex tinħoloq plażma, li jonizza l-gass.
- Il-joni ċċarġjati b'mod pożittiv mill-plażma jiġu aċċellerati lejn il-mira ċċarġjata b'mod negattiv, u b'hekk ineħħu fiżikament l-atomi mill-wiċċ.
- Dawn l-atomi mbagħad jiddepożitaw fuq is-sottostrat, u jiffurmaw film irqiq.
- Applikazzjonijiet:
- Użat ħafna fil-manifattura tas-semikondutturi, il-kisi tal-ħġieġ, u l-ħolqien ta' kisi reżistenti għall-użu.
- Ideali għall-ħolqien ta' films irqaq tal-liga, taċ-ċeramika, jew kumplessi.
- Vantaġġi:
- Jista' jiddepożita firxa wiesgħa ta' materjali, inklużi metalli, ligi, u ossidi.
- Uniformità eċċellenti tal-film u kopertura tat-tarġiet, anke fuq forom kumplessi.
- Kontroll preċiż fuq il-ħxuna u l-kompożizzjoni tal-film.
- Żvantaġġi:
- Rati ta' depożizzjoni aktar bil-mod meta mqabbla mal-evaporazzjoni termali.
- Iktar għali minħabba l-kumplessità tat-tagħmir u l-ħtieġa għal aktar enerġija.
Differenzi Ewlenin:
- Sors tad-Depożizzjoni:
- L-evaporazzjoni termali tuża s-sħana biex tevapora l-materjal, filwaqt li l-isputtering juża l-bumbardament tal-joni biex ineħħi l-atomi fiżikament.
- Enerġija Meħtieġa:
- L-evaporazzjoni termali tipikament teħtieġ inqas enerġija mill-isputtering peress li tiddependi fuq it-tisħin aktar milli fuq il-ġenerazzjoni tal-plażma.
- Materjali:
- L-isputtering jista' jintuża biex jiddepożita firxa usa' ta' materjali, inklużi dawk b'punti ta' tidwib għoljin, li huma diffiċli biex jevaporaw.
- Kwalità tal-Film:
- L-isputtering ġeneralment jipprovdi kontroll aħjar fuq il-ħxuna, l-uniformità u l-kompożizzjoni tal-film.
Ħin tal-posta: 27 ta' Settembru 2024