Pemendapan filem nipis ialah proses asas yang digunakan dalam industri semikonduktor, serta dalam banyak bidang sains dan kejuruteraan bahan lain. Ia melibatkan penciptaan lapisan nipis bahan pada substrat. Filem yang dimendapkan boleh mempunyai pelbagai ketebalan, daripada hanya beberapa lapisan atom hingga beberapa mikrometer tebal. Filem ini boleh berfungsi dalam pelbagai tujuan, seperti konduktor elektrik, penebat, salutan optik atau penghalang pelindung.
Berikut ialah kaedah utama yang digunakan untuk pemendapan filem nipis:
Pemendapan Wap Fizikal (PVD)
Sputtering:Rasuk ion bertenaga tinggi digunakan untuk mengetuk atom daripada bahan sasaran, yang kemudiannya memendap ke substrat.
Penyejatan:** Bahan dipanaskan dalam vakum sehingga ia menyejat, dan kemudian wap terpeluwap pada substrat.
Pemendapan Lapisan Atom (ALD)
ALD ialah teknik di mana filem ditanam pada substrat satu lapisan atom pada satu masa. Ia sangat dikawal dan boleh mencipta filem yang sangat tepat dan konformal.
Epitaksi Rasuk Molekul (MBE)
MBE ialah teknik pertumbuhan epitaxial di mana rasuk atom atau molekul diarahkan ke substrat yang dipanaskan untuk membentuk filem nipis kristal.
Kelebihan Pemendapan Filem Nipis
Kefungsian dipertingkat: Filem boleh memberikan sifat baharu kepada substrat, seperti rintangan calar atau kekonduksian elektrik.
Penggunaan bahan yang dikurangkan: Ia membolehkan penciptaan peranti kompleks dengan penggunaan bahan yang minimum, mengurangkan kos.
Penyesuaian: Filem boleh disesuaikan untuk mempunyai sifat mekanikal, elektrik, optik atau kimia tertentu.
Aplikasi
Peranti semikonduktor: Transistor, litar bersepadu dan sistem mikroelektromekanikal (MEMS).
Salutan optik: Salutan anti-reflektif dan reflektif tinggi pada kanta dan sel suria.
Salutan pelindung: Untuk mengelakkan kakisan atau haus pada alatan dan mesin.
Aplikasi bioperubatan: Salutan pada implan perubatan atau sistem penghantaran ubat.
Pilihan teknik pemendapan bergantung pada keperluan khusus aplikasi, termasuk jenis bahan yang akan didepositkan, sifat filem yang dikehendaki, dan kekangan kos.
–Artikel ini dikeluarkan olehpengeluar mesin salutan vakumGuangdong Zhenhua
Masa siaran: 15 Ogos 2024