पातळ फिल्म डिपॉझिशन तंत्रज्ञान

पातळ फिल्म डिपॉझिशन ही अर्धवाहक उद्योगात तसेच पदार्थ विज्ञान आणि अभियांत्रिकीच्या इतर अनेक क्षेत्रांमध्ये वापरली जाणारी एक मूलभूत प्रक्रिया आहे. यामध्ये सब्सट्रेटवर पदार्थाचा पातळ थर तयार करणे समाविष्ट आहे. डिपॉझिट केलेल्या फिल्म्समध्ये फक्त काही अणु थरांपासून ते अनेक मायक्रोमीटर जाडीपर्यंत विस्तृत जाडी असू शकते. हे फिल्म्स अनेक उद्देशांसाठी काम करू शकतात, जसे की विद्युत वाहक, इन्सुलेटर, ऑप्टिकल कोटिंग्ज किंवा संरक्षक अडथळे.

पातळ फिल्म जमा करण्यासाठी वापरल्या जाणाऱ्या मुख्य पद्धती येथे आहेत:
भौतिक वाष्प निक्षेपण (PVD)
स्पटरिंग: लक्ष्यित पदार्थापासून अणू काढून टाकण्यासाठी उच्च-ऊर्जा आयन बीम वापरला जातो, जो नंतर सब्सट्रेटवर जमा होतो.
बाष्पीभवन:** पदार्थाचे बाष्पीभवन होईपर्यंत व्हॅक्यूममध्ये गरम केले जाते आणि नंतर बाष्प थरावर घनरूप होते.
अणु थर निक्षेपण (ALD)
ALD ही एक अशी पद्धत आहे जिथे एका वेळी एका अणु थराच्या थरावर फिल्म वाढवली जाते. हे अत्यंत नियंत्रित आहे आणि अतिशय अचूक आणि सुसंगत फिल्म तयार करू शकते.
आण्विक बीम एपिटॅक्सी (MBE)
एमबीई ही एक एपिटॅक्सियल ग्रोथ तंत्र आहे जिथे अणू किंवा रेणूंचे किरण गरम सब्सट्रेटवर निर्देशित केले जातात जेणेकरून एक स्फटिकासारखे पातळ थर तयार होईल.
पातळ फिल्म डिपॉझिशनचे फायदे
वाढलेली कार्यक्षमता: फिल्म्स सब्सट्रेटला नवीन गुणधर्म प्रदान करू शकतात, जसे की स्क्रॅच प्रतिरोध किंवा विद्युत चालकता.
कमी साहित्याचा वापर: यामुळे कमीत कमी साहित्याचा वापर करून जटिल उपकरणे तयार करता येतात, ज्यामुळे खर्च कमी होतो.
कस्टमायझेशन: फिल्म्स विशिष्ट यांत्रिक, विद्युत, प्रकाशीय किंवा रासायनिक गुणधर्मांनुसार तयार केल्या जाऊ शकतात.
अर्ज
सेमीकंडक्टर उपकरणे: ट्रान्झिस्टर, इंटिग्रेटेड सर्किट्स आणि मायक्रोइलेक्ट्रोमेकॅनिकल सिस्टम्स (MEMS).
ऑप्टिकल कोटिंग्ज: लेन्स आणि सौर पेशींवर अँटी-रिफ्लेक्टीव्ह आणि हाय-रिफ्लेक्टीव्ह कोटिंग्ज.
संरक्षक कोटिंग्ज: अवजारे आणि यंत्रसामग्रींवर गंज किंवा झीज टाळण्यासाठी.
बायोमेडिकल अनुप्रयोग: वैद्यकीय रोपण किंवा औषध वितरण प्रणालींवरील कोटिंग्ज.
डिपॉझिशन तंत्राची निवड अर्जाच्या विशिष्ट आवश्यकतांवर अवलंबून असते, ज्यामध्ये डिपॉझिट करायच्या सामग्रीचा प्रकार, इच्छित फिल्म गुणधर्म आणि खर्चाच्या मर्यादा यांचा समावेश असतो.

- हा लेख प्रकाशित केला आहेव्हॅक्यूम कोटिंग मशीन निर्माताग्वांगडोंग झेन्हुआ