Нимгэн хальс буулгах технологи

Нимгэн хальсыг буулгах нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл, түүнчлэн материалын шинжлэх ухаан, инженерчлэлийн бусад олон салбарт хэрэглэгддэг үндсэн процесс юм. Энэ нь субстрат дээр нимгэн давхаргын материалыг бий болгох явдал юм. Хуримтлагдсан хальс нь хэдхэн атомын давхаргаас эхлээд хэдэн микрометр хүртэл зузаантай байж болно. Эдгээр хальснууд нь цахилгаан дамжуулагч, тусгаарлагч, оптик бүрээс, хамгаалалтын хаалт гэх мэт олон зорилгоор үйлчилж болно.

Нимгэн хальсыг буулгахад ашигладаг үндсэн аргуудыг энд үзүүлэв.
Физик уурын хуримтлал (PVD)
Шүрших: Өндөр энергитэй ионы цацраг нь атомыг зорилтот материалаас салгахад ашигладаг бөгөөд дараа нь субстрат дээр тогтдог.
Ууршилт:** Материалыг уурших хүртэл вакуумд халааж, дараа нь уур нь субстрат дээр өтгөрдөг.
Атомын давхаргын хуримтлал (ALD)
ALD нь субстрат дээр нэг атомын давхарга дээр хальс ургуулдаг техник юм. Энэ нь маш өндөр хяналттай бөгөөд маш нарийн, нийцтэй хальс үүсгэж чаддаг.
Молекулын цацрагийн эпитакси (MBE)
MBE нь атом эсвэл молекулын цацрагийг халсан субстрат руу чиглүүлж талст нимгэн хальс үүсгэдэг эпитаксиаль өсөлтийн арга юм.
Нимгэн хальсан бүрхүүлийн давуу тал
Сайжруулсан функциональ байдал: Кино нь зураас эсэргүүцэл эсвэл цахилгаан дамжуулах чанар гэх мэт субстратын шинэ шинж чанарыг өгч чадна.
Материалын хэрэглээг багасгах: Энэ нь хамгийн бага материалын зарцуулалт бүхий нарийн төвөгтэй төхөөрөмжийг бий болгож, зардлыг бууруулах боломжийг олгодог.
Тохируулах: Киног тусгай механик, цахилгаан, оптик эсвэл химийн шинж чанартайгаар тохируулж болно.
Хэрэглээ
Хагас дамжуулагч төхөөрөмж: Транзистор, нэгдсэн хэлхээ, микро цахилгаан механик систем (MEMS).
Оптик бүрээс: Линз болон нарны зайн тусгалын эсрэг, өндөр тусгалтай бүрээс.
Хамгаалалтын бүрээс: Багаж, машин механизмын зэврэлт, элэгдэлд орохоос сэргийлнэ.
Био анагаахын хэрэглээ: Эмнэлгийн суулгац эсвэл эм дамжуулах системд бүрэх.
Тунуулах арга техникийг сонгохдоо хэрэглэх материалын төрөл, хүссэн хальсны шинж чанар, зардлын хязгаарлалт зэрэг хэрэглээний тусгай шаардлагаас хамаарна.

-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа