PVD бүрээс: Дулааны ууршилт ба шүрших

PVD (физик уурын хуримтлал) бүрэх нь нимгэн хальс, гадаргуугийн бүрээсийг бүтээхэд өргөн хэрэглэгддэг техник юм. Нийтлэг аргуудын дотроос дулааны ууршилт ба шүрших нь хоёр чухал PVD процесс юм. Энд тус бүрийг задлан харуулав:

1. Дулааны ууршилт

• зарчим:Материалыг вакуум камерт уурших буюу сублиматжуулах хүртэл халаана. Дараа нь ууршсан материал нь нимгэн хальс үүсгэхийн тулд субстрат дээр өтгөрдөг.
• Үйл явц:
• Эх материал (металл, керамик гэх мэт) нь ихэвчлэн эсэргүүцэлтэй халаалт, электрон цацраг эсвэл лазер ашиглан халаадаг.
• Материал уурших цэгтээ хүрмэгц атомууд эсвэл молекулууд эх үүсвэрээс гарч вакуумаар дамжин субстрат руу шилждэг.
• Ууршсан атомууд нь субстратын гадаргуу дээр өтгөрч, нимгэн давхарга үүсгэдэг.
• Хэрэглээ:
• Металл, хагас дамжуулагч, тусгаарлагчийг хуримтлуулахад ихэвчлэн ашигладаг.
• Хэрэглээнд оптик бүрээс, гоёл чимэглэлийн өнгөлгөө, микроэлектроник орно.
• Давуу тал:
• Өндөр хуримтлалын хувь хэмжээ.
• Зарим материалын хувьд энгийн бөгөөд хэмнэлттэй.
• Өндөр цэвэрхэн кино хийж болно.
• Сул тал:
• Бага хайлах цэг эсвэл уурын даралт ихтэй материалаар хязгаарлагдана.
• Нарийн төвөгтэй гадаргуу дээр шат дамжлага муу.
• Хайлшийн хальсны найрлагад тавих хяналт бага.

2. Шүрших

• Зарчим: Плазмын ионууд зорилтот материал руу хурдасч, атомууд нь байгаасаа хөөгдөж, дараа нь субстрат дээр хуримтлагддаг.
• Үйл явц:
• Зорилтот материалыг (металл, хайлш гэх мэт) камерт байрлуулж, хий (ихэвчлэн аргон) оруулдаг.
• Плазмыг бий болгохын тулд өндөр хүчдэлийг ашигладаг бөгөөд энэ нь хийг ионжуулдаг.
• Плазмын эерэг цэнэгтэй ионууд сөрөг цэнэгтэй зорилтот тал руу хурдасч, атомуудыг гадаргуугаас физик байдлаар зайлуулдаг.
• Дараа нь эдгээр атомууд субстрат дээр хуримтлагдаж, нимгэн хальс үүсгэдэг.
• Хэрэглээ:
• Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл, шилийг бүрэх, элэгдэлд тэсвэртэй бүрээс үйлдвэрлэхэд өргөн хэрэглэгддэг.
• Хайлш, керамик эсвэл нарийн төвөгтэй нимгэн хальс үүсгэхэд тохиромжтой.
• Давуу тал:
• Металл, хайлш, исэл зэрэг олон төрлийн материалыг хуримтлуулах боломжтой.
• Нарийн төвөгтэй хэлбэрт ч гэсэн маш сайн хальсан жигд байдал, алхам бүрхэвч.
• Киноны зузаан, найрлагыг нарийн хянах.
• Сул тал:
• Дулааны ууршилттай харьцуулахад тунадасны хурд бага байна.
• Тоног төхөөрөмжийн нарийн төвөгтэй байдал, өндөр эрчим хүч шаардагддаг тул илүү үнэтэй байдаг.

Гол ялгаа:

• Хадгаламжийн эх үүсвэр:
• Дулааны ууршилт нь материалыг ууршуулахын тулд дулааныг ашигладаг бол шүрших нь атомыг физикээр задлахад ионы бөмбөгдөлтийг ашигладаг.
• Шаардлагатай эрчим хүч:
• Дулааны ууршилт нь плазм үүсгэхээс илүү халаалтанд тулгуурладаг тул шүршихээс бага эрчим хүч шаарддаг.
• Материал:
• Цацах аргыг илүү өргөн хүрээний материалыг, тэр дундаа өндөр хайлах цэгтэй, ууршихад хэцүү материалыг хуримтлуулахад ашиглаж болно.
• Киноны чанар:
• Шүрших нь ерөнхийдөө хальсны зузаан, жигд байдал, найрлагыг илүү сайн хянах боломжийг олгодог.