തിൻ ഫിലിം ഡിപ്പോസിഷൻ ടെക്നോളജി

അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിലും മെറ്റീരിയൽ സയൻസ്, എഞ്ചിനീയറിംഗ് എന്നിവയുടെ മറ്റ് പല മേഖലകളിലും ഉപയോഗിക്കുന്ന ഒരു അടിസ്ഥാന പ്രക്രിയയാണ് നേർത്ത ഫിലിം നിക്ഷേപം. ഒരു അടിവസ്ത്രത്തിൽ ഒരു നേർത്ത പാളി മെറ്റീരിയൽ സൃഷ്ടിക്കുന്നത് ഇതിൽ ഉൾപ്പെടുന്നു. നിക്ഷേപിച്ച ഫിലിമുകൾക്ക് വിശാലമായ കനം ഉണ്ടായിരിക്കാം, കുറച്ച് ആറ്റോമിക് പാളികൾ മുതൽ നിരവധി മൈക്രോമീറ്റർ കട്ടിയുള്ളത് വരെ. വൈദ്യുതചാലകങ്ങൾ, ഇൻസുലേറ്ററുകൾ, ഒപ്റ്റിക്കൽ കോട്ടിംഗുകൾ അല്ലെങ്കിൽ സംരക്ഷണ തടസ്സങ്ങൾ എന്നിങ്ങനെ നിരവധി ആവശ്യങ്ങൾക്ക് ഈ ഫിലിമുകൾക്ക് കഴിയും.

നേർത്ത ഫിലിം നിക്ഷേപത്തിന് ഉപയോഗിക്കുന്ന പ്രധാന രീതികൾ ഇതാ:
ഭൗതിക നീരാവി നിക്ഷേപം (PVD)
സ്പട്ടറിംഗ്: ഒരു ഉയർന്ന ഊർജ്ജ അയോൺ ബീം ഉപയോഗിച്ച് ഒരു ലക്ഷ്യ വസ്തുവിൽ നിന്ന് ആറ്റങ്ങളെ തട്ടിമാറ്റുന്നു, തുടർന്ന് അത് അടിവസ്ത്രത്തിൽ നിക്ഷേപിക്കുന്നു.
ബാഷ്പീകരണം:** പദാർത്ഥം ബാഷ്പീകരിക്കപ്പെടുന്നതുവരെ ഒരു ശൂന്യതയിൽ ചൂടാക്കപ്പെടുന്നു, തുടർന്ന് നീരാവി അടിവസ്ത്രത്തിൽ ഘനീഭവിക്കുന്നു.
ആറ്റോമിക് ലെയർ ഡിപ്പോസിഷൻ (ALD)
ALD എന്നത് ഒരു ഫിലിം ഒരു സമയത്ത് ഒരു ആറ്റോമിക് പാളി എന്ന നിലയിൽ ഒരു അടിവസ്ത്രത്തിൽ വളർത്തുന്ന ഒരു സാങ്കേതികതയാണ്. ഇത് വളരെ നിയന്ത്രിതമാണ്, വളരെ കൃത്യവും അനുരൂപവുമായ ഫിലിമുകൾ സൃഷ്ടിക്കാൻ ഇതിന് കഴിയും.
മോളിക്യുലാർ ബീം എപ്പിറ്റാക്സി (MBE)
MBE എന്നത് ഒരു എപ്പിറ്റാക്സിയൽ വളർച്ചാ സാങ്കേതികതയാണ്, അവിടെ ആറ്റങ്ങളുടെയോ തന്മാത്രകളുടെയോ ബീമുകൾ ഒരു ചൂടായ അടിവസ്ത്രത്തിലേക്ക് നയിക്കപ്പെടുകയും ഒരു സ്ഫടിക നേർത്ത ഫിലിം രൂപപ്പെടുകയും ചെയ്യുന്നു.
നേർത്ത ഫിലിം ഡിപ്പോസിഷന്റെ ഗുണങ്ങൾ
മെച്ചപ്പെടുത്തിയ പ്രവർത്തനം: ഫിലിമുകൾക്ക് സ്ക്രാച്ച് റെസിസ്റ്റൻസ് അല്ലെങ്കിൽ വൈദ്യുതചാലകത പോലുള്ള പുതിയ ഗുണങ്ങൾ അടിവസ്ത്രത്തിന് നൽകാൻ കഴിയും.
കുറഞ്ഞ മെറ്റീരിയൽ ഉപയോഗം: കുറഞ്ഞ മെറ്റീരിയൽ ഉപയോഗത്തോടെ സങ്കീർണ്ണമായ ഉപകരണങ്ങൾ സൃഷ്ടിക്കാൻ ഇത് അനുവദിക്കുന്നു, അതുവഴി ചെലവ് കുറയ്ക്കുന്നു.
ഇഷ്ടാനുസൃതമാക്കൽ: പ്രത്യേക മെക്കാനിക്കൽ, ഇലക്ട്രിക്കൽ, ഒപ്റ്റിക്കൽ അല്ലെങ്കിൽ കെമിക്കൽ ഗുണങ്ങൾ ഉള്ള തരത്തിൽ ഫിലിമുകൾ ക്രമീകരിക്കാൻ കഴിയും.
അപേക്ഷകൾ
സെമികണ്ടക്ടർ ഉപകരണങ്ങൾ: ട്രാൻസിസ്റ്ററുകൾ, ഇന്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ടുകൾ, മൈക്രോഇലക്ട്രോമെക്കാനിക്കൽ സിസ്റ്റങ്ങൾ (MEMS).
ഒപ്റ്റിക്കൽ കോട്ടിംഗുകൾ: ലെൻസുകളിലും സോളാർ സെല്ലുകളിലും ആന്റി-റിഫ്ലക്ടീവ്, ഹൈ-റിഫ്ലക്ടീവ് കോട്ടിംഗുകൾ.
സംരക്ഷണ കോട്ടിംഗുകൾ: ഉപകരണങ്ങളിലും യന്ത്രങ്ങളിലും നാശമോ തേയ്മാനമോ തടയുന്നതിന്.
ബയോമെഡിക്കൽ ആപ്ലിക്കേഷനുകൾ: മെഡിക്കൽ ഇംപ്ലാന്റുകളിലോ മരുന്ന് വിതരണ സംവിധാനങ്ങളിലോ ഉള്ള കോട്ടിംഗുകൾ.
ഡിപ്പോസിഷൻ ടെക്നിക്കിന്റെ തിരഞ്ഞെടുപ്പ് ആപ്ലിക്കേഷന്റെ നിർദ്ദിഷ്ട ആവശ്യകതകളെ ആശ്രയിച്ചിരിക്കുന്നു, അതിൽ നിക്ഷേപിക്കേണ്ട വസ്തുക്കളുടെ തരം, ആവശ്യമുള്ള ഫിലിം ഗുണങ്ങൾ, ചെലവ് പരിമിതികൾ എന്നിവ ഉൾപ്പെടുന്നു.

–ഈ ലേഖനം പ്രസിദ്ധീകരിച്ചത്വാക്വം കോട്ടിംഗ് മെഷീൻ നിർമ്മാതാവ്ഗുവാങ്‌ഡോംഗ് ഷെൻഹുവ