Ko te waipara kiriata angiangi he tikanga taketake e whakamahia ana i roto i te umanga semiconductor, tae atu ki te maha atu o nga waahanga o te aoiao rauemi me te miihini. Ko te hanga i tetahi paparanga angiangi o te papanga i runga i te tïpako. He maha nga momo matotoru o nga kiriata kua penapena, mai i etahi paparanga ngota noa ki etahi micrometers te matotoru. Ka taea e enei kiriata te mahi i nga kaupapa maha, penei i te kaikawe hiko, i te insulators, i te paninga whatu, i te arai whakamarumaru ranei.
Anei nga tikanga matua e whakamahia ana mo te whakatakoto kiriata angiangi:
Kohu Kohu Tino (PVD)
Te pupuhi: Ka whakamahia he kurupae katote kaha-kaha ki te patupatu i nga ngota mai i tetahi rawa i whaaia, ka tuku ki runga i te tïpako.
Te whakaetonga:** Ka whakamahanahia te rawa i roto i te korehau tae noa ki te whakaeto, katahi ka whakamatao te kohu ki runga i te tïpako.
Whakatakotoranga Apa ngota (ALD)
Ko te ALD he tikanga whakatipu kiriata ki runga i te tïpako kotahi te paparanga ngota i ia wa. He tino whakahaere, ka taea te hanga i nga kiriata tino tika me te rite.
Epitaxy Kurupae Molecular (MBE)
Ko te MBE he tikanga whakatipu epitaxial ka tukuna nga kurupae ngota, ngota ngota ranei ki runga i te tïpako kua wera hei hanga i te kiriata kikokore tioata.
Nga Painga o te Whakapae Kiriata Angiangi
Taumahinga Whakarei ake: Ka taea e nga Kiriata te whakarato i nga taonga hou ki te tïpako, penei i te raraku, te kawe hiko ranei.
Te whakamahi rauemi whakaheke: Ka taea e ia te hanga i nga taputapu uaua me te iti o te whakamahinga rauemi, te whakaiti i nga utu.
Whakaritenga: Ka taea te whakarite i nga kiriata ki te whai tohu miihini, hiko, whatu, matū ranei.
Nga tono
Nga taputapu Semiconductor: Transistors, integrated circuits, and microelectromechanical systems (MEMS).
Ko nga paninga orotika: Ko nga whakakikorua-whakaata me te whakaata teitei i runga i nga arotahi me nga pūtau solar.
Nga paninga parepare: Hei aukati i te waikura, ka mau ranei ki nga taputapu me nga miihini.
Nga tono mo te rongoa koiora: Ko nga paninga ki nga whakaurunga rongoa me nga punaha tuku rongoa.
Ko te kowhiringa o te tikanga tukunga e whakawhirinaki ana ki nga whakaritenga motuhake o te tono, tae atu ki te momo rauemi ka tukuna, nga ahuatanga kiriata e hiahiatia ana, me nga herenga utu.
– Ko tenei tuhinga i tukuna ekaihanga miihini whakakikorua korehauGuangdong Zhenhua
Te wa tuku: Akuhata-15-2024