Ko nga paninga PVD (Physical Vapor Deposition) he tikanga e whakamahia nuitia ana mo te hanga kiriata kikokore me te paninga mata. I roto i nga tikanga noa, ko te whakaetonga waiariki me te pupuhi he tukanga PVD nui e rua. Anei te wehenga o ia waahanga:
1. Whakaetonga Ngawha
- Kaupapa:Ka whakamahanahia nga taonga ki roto i te ruma korehau tae noa ki te whakaeto, ki te whakaheke ranei. Ko nga mea kua rehu ka whakamatao ki runga i te tïpako kia hanga he kiriata angiangi.
- Tukanga:
- He mea whakawera (te konganuku, te uku, me etahi atu) ka whakamahana, he whakamahana parenga, he kurupae hiko, he taiaho ranei.
- Kia tae te rauemi ki tona waahi whakaetonga, ka wehe nga ngota, ngota ngota ranei i te puna, ka haere ma te korehau ki te tïpako.
- Ko nga ngota ngota kua whakamaroke ki runga i te mata o te tïpako, ka hanga he kahu angiangi.
- Nga tono:
- Ka whakamahia noa ki te whakatakoto i nga konganuku, i nga semiconductors, me nga kaitao.
- Ko nga tono ko nga paninga whatu, nga whakapaipai whakapaipai, me nga miihini hiko.
- Painga:
- He nui te reiti tukunga.
- He ngawari me te utu-utu mo etahi rawa.
- Ka taea te whakaputa kiriata tino parakore.
- Nga huakore:
- He iti ki nga rauemi he iti te ira whakarewa, he pehanga kohu teitei ranei.
- He iti te kapi o te hikoi ki runga i nga mata uaua.
- He iti ake te mana o te hanga kiriata mo nga koranu.
2. Te pupuhi
- Maataapono: Ka whakaterehia nga katote mai i te plasma ki tetahi rauemi i whngaia, ka puta nga ngota (sputtered) mai i te whaainga, ka tuku ki runga i te tïpako.
- Tukanga:
- Ka whakatakotoria he taonga (te whakarewa, te koranu, me etahi atu) ki roto i te ruma, ka whakauruhia he hau (he argon te tikanga).
- Ka whakamahia he ngaohiko teitei ki te hanga plasma, ka katote i te hau.
- Ko nga katote totika mai i te plasma ka whakaterehia ki te whaainga kino, ka whakakorehia nga ngota mai i te mata.
- Ka tuku enei ngota ki runga i te tïpako, ka hanga he kiriata angiangi.
- Nga tono:
- Ka whakamahia nuitia i roto i te hanga semiconductor, te karaehe paninga, me te hanga i nga paninga whakakakahu-atete.
- He pai mo te hanga koranu, uku, kiriata kikokore uaua ranei.
- Painga:
- Ka taea te whakatakoto i te whānuitanga o nga rauemi, tae atu ki te konganuku, te koranu, me te waikura.
- He pai te rite o te kiriata me te kapi takahanga, ahakoa i runga i nga ahua uaua.
- Te whakahaere tika mo te matotoru kiriata me te hanganga.
- Nga huakore:
- He puhoi ake te reiti whakatairite ki te whakaetonga waiariki.
- He nui ake te utu na te uaua o nga taputapu me te hiahia mo te kaha ake.
Rerekētanga Matua:
- Pūtake o te Whakapae:
- Ka whakamahia e te whakaetonga te wera ki te whakaeto i nga rawa, ka whakamahia e te pupuhi katote poma ki te whakakore tinana ngota.
- Pūngao e hiahiatia ana:
- Ko te whakaetonga wera he iti ake te kaha i te pupuhi i te mea e whakawhirinaki ana ki te whakamahana, kaua ki te whakatipu plasma.
- Rauemi:
- Ka taea te whakamahi i te pupuhi ki te whakatakoto i te whānuitanga whanui o nga rawa, tae atu ki nga mea he teitei te rewa, he uaua ki te whakaeto.
- Kounga Kiriata:
- Ko te Sputtering te tikanga he pai ake te whakahaere mo te matotoru o te kiriata, te riterite me te hanganga.
Te wa tuku: Sep-27-2024