Plāno kārtiņu uzklāšana ir fundamentāls process, ko izmanto pusvadītāju rūpniecībā, kā arī daudzās citās materiālzinātnes un inženierzinātņu jomās. Tas ietver plāna materiāla slāņa izveidi uz substrāta. Uzklātajām plēvēm var būt plašs biezuma diapazons, sākot no dažiem atomu slāņiem līdz vairākiem mikrometriem biezām. Šīs plēves var kalpot dažādiem mērķiem, piemēram, kā elektrības vadītāji, izolatori, optiskie pārklājumi vai aizsargbarjeras.
Šeit ir galvenās plānās plēves uzklāšanas metodes:
Fizikālā tvaiku pārklāšana (PVD)
Izsmidzināšana: Augstas enerģijas jonu staru kūlis tiek izmantots, lai atdalītu atomus no mērķa materiāla, kas pēc tam nogulsnējas uz substrāta.
Iztvaikošana:** Materiālu karsē vakuumā, līdz tas iztvaiko, un pēc tam tvaiks kondensējas uz substrāta.
Atomu slāņošanās (ALD)
ALD ir metode, kurā plēve tiek audzēta uz substrāta pa vienam atomu slānim. Tā ir ļoti kontrolēta un var radīt ļoti precīzas un konformiskas plēves.
Molekulārā stara epitaksija (MBE)
MBE ir epitaksiāla augšanas metode, kurā atomu vai molekulu stari tiek virzīti uz sakarsētu substrātu, veidojot kristālisku plānu plēvi.
Plānās plēves nogulsnēšanas priekšrocības
Uzlabota funkcionalitāte: Plēves var nodrošināt substrātam jaunas īpašības, piemēram, izturību pret skrāpējumiem vai elektrovadītspēju.
Samazināts materiālu patēriņš: Tas ļauj izveidot sarežģītas ierīces ar minimālu materiālu patēriņu, tādējādi samazinot izmaksas.
Pielāgošana: Plēves var pielāgot, lai tām būtu īpašas mehāniskas, elektriskas, optiskas vai ķīmiskas īpašības.
Pieteikumi
Pusvadītāju ierīces: tranzistori, integrālās shēmas un mikroelektromehāniskās sistēmas (MEMS).
Optiskie pārklājumi: pretatstarojoši un ļoti atstarojoši pārklājumi lēcām un saules baterijām.
Aizsargpārklājumi: Lai novērstu instrumentu un mehānismu koroziju vai nodilumu.
Biomedicīnas pielietojumi: pārklājumi uz medicīniskajiem implantiem vai zāļu piegādes sistēmām.
Uzklāšanas tehnikas izvēle ir atkarīga no konkrētajām pielietojuma prasībām, tostarp no uzklātā materiāla veida, vēlamajām plēves īpašībām un izmaksu ierobežojumiem.
– Šo rakstu publicēvakuuma pārklāšanas mašīnu ražotājsGuandunas Dženhua
Publicēšanas laiks: 2024. gada 15. augusts