Plonasluoksnis nusodinimas yra pagrindinis procesas, naudojamas puslaidininkių pramonėje, taip pat daugelyje kitų medžiagų mokslo ir inžinerijos sričių. Tai apima plono medžiagos sluoksnio sukūrimą ant pagrindo. Nusodintos plėvelės gali būti įvairaus storio – nuo kelių atominių sluoksnių iki kelių mikrometrų storio. Šios plėvelės gali būti naudojamos įvairiems tikslams, pavyzdžiui, kaip elektros laidininkai, izoliatoriai, optinės dangos arba apsauginiai barjerai.
Štai pagrindiniai plonų sluoksnių dengimo metodai:
Fizikinis garų nusodinimas (PVD)
Purškimas: Didelės energijos jonų pluoštas naudojamas atomams nuo tikslinės medžiagos numušti, o tada jie nusėda ant pagrindo.
Garinimas:** Medžiaga kaitinama vakuume, kol išgaruoja, o tada garai kondensuojasi ant pagrindo.
Atominio sluoksnio nusodinimas (ALD)
ALD – tai technika, kai plėvelė auginama ant substrato po vieną atominį sluoksnį. Tai labai kontroliuojama technika, kuria galima sukurti labai tikslias ir konformines plėveles.
Molekulinių pluoštų epitaksija (MBE)
MBE yra epitaksinio augimo technika, kai atomų arba molekulių pluoštai nukreipiami į įkaitintą substratą, kad susidarytų kristalinė plona plėvelė.
Plonasluoksnio nusodinimo privalumai
Patobulintas funkcionalumas: plėvelės gali suteikti substratui naujų savybių, tokių kaip atsparumas įbrėžimams ar elektrinis laidumas.
Sumažintas medžiagų sunaudojimas: Tai leidžia kurti sudėtingus įrenginius sunaudojant minimalias medžiagas, taip sumažinant sąnaudas.
Pritaikymas: Plėveles galima pritaikyti prie konkrečių mechaninių, elektrinių, optinių ar cheminių savybių.
Paraiškos
Puslaidininkiniai įtaisai: tranzistoriai, integriniai grandynai ir mikroelektromechaninės sistemos (MEMS).
Optinės dangos: neatspindinčios ir labai atspindinčios lęšių ir saulės elementų dangos.
Apsauginės dangos: skirtos apsaugoti įrankius ir mašinas nuo korozijos ar nusidėvėjimo.
Biomedicinos taikymas: medicininių implantų arba vaistų tiekimo sistemų dangos.
Nusodinimo technikos pasirinkimas priklauso nuo konkrečių taikymo reikalavimų, įskaitant nusodinamos medžiagos tipą, pageidaujamas plėvelės savybes ir kainos apribojimus.
– Šį straipsnį išleidovakuuminio dengimo mašinų gamintojasGuangdong Zhenhua
Įrašo laikas: 2024 m. rugpjūčio 15 d.