PRODUKTO APRAŠYMAS

Įrangos pranašumas

1. Keičiama funkcinė konfigūracija

Dėl modulinės architektūros konstrukcijos ji palaiko masinės greitos gamybos režimus, leidžiančius greitai pridėti, pašalinti ir reorganizuoti funkcines kameras. Gamybos linijos išdėstymą galima lanksčiai koreguoti pagal gamybos poreikius.

2. Tikslaus dengimo technologijos sprendimas

Novatoriškai naudojant mažo kampo besisukančio taikinio purškimo technologiją kartu su optimizuotu magnetinio lauko sprendimu, siekiant efektyviai užpildyti kiaurymes.

3. Besisukančios taikinio struktūros taikymas

Ši struktūra sumažina dengimo medžiagos nuostolius ir pagerina taikinių medžiagų panaudojimą. Ji taip pat sutrumpina taikinių keitimo ciklą, taip padidindama gamybos efektyvumą.

4. Proceso valdymo privalumai

Optimizavus magnetroninio dulkinimo parametrus ir dvipusio sinchroninio nusodinimo technologiją, žymiai pagerinamas sudėtingų konstrukcinių komponentų dengimo efektyvumas, o medžiagų nuostolių greitis sumažinamas.

Taikymas:Geba paruošti įvairius vieno elemento metalinių plėvelių sluoksnius, tokius kaip Ti, Cu, Al, Sn, Cr, Ag, Ni ir kt. Jis plačiai naudojamas puslaidininkiniuose elektroniniuose komponentuose, tokiuose kaip DPC keraminiai pagrindai, keraminiai kondensatoriai, termistoriai, LED keraminiai laikikliai ir kt.