ເທກໂນໂລຍີການຝັງດິນບາງໆ

ການຖິ້ມຮູບເງົາບາງໆແມ່ນຂະບວນການພື້ນຖານທີ່ໃຊ້ໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor, ເຊັ່ນດຽວກັນກັບໃນຫຼາຍຂົງເຂດອື່ນໆຂອງວິທະຍາສາດວັດສະດຸແລະວິສະວະກໍາ. ມັນກ່ຽວຂ້ອງກັບການສ້າງຊັ້ນບາງໆຂອງວັດສະດຸເທິງຊັ້ນຍ່ອຍ. ຮູບເງົາທີ່ຝາກໄວ້ສາມາດມີຄວາມໜາກວ້າງ, ແຕ່ຊັ້ນປະລໍາມະນູພຽງແຕ່ສອງສາມໄມໂຄແມັດ. ຮູບເງົາເຫຼົ່ານີ້ສາມາດຮັບໃຊ້ຫຼາຍຈຸດປະສົງ, ເຊັ່ນ: ຕົວນໍາໄຟຟ້າ, insulators, ການເຄືອບ optical, ຫຼືສິ່ງກີດຂວາງປ້ອງກັນ.

ນີ້ແມ່ນວິທີການຕົ້ນຕໍທີ່ໃຊ້ສໍາລັບການຊຶມເຊື້ອຮູບເງົາບາງໆ:
ການປ່ອຍອາຍພິດທາງກາຍະພາບ (PVD)
Sputtering: ລໍາແສງ ion ທີ່ມີພະລັງງານສູງຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອລົບອະຕອມອອກຈາກວັດສະດຸເປົ້າຫມາຍ, ເຊິ່ງຈາກນັ້ນຝາກລົງເທິງຊັ້ນໃຕ້ດິນ.
ການລະເຫີຍ:** ວັດສະດຸຖືກໃຫ້ຄວາມຮ້ອນໃນສູນຍາກາດຈົນກ່ວາມັນລະເຫີຍ, ແລະຫຼັງຈາກນັ້ນ vapor condenses ສຸດ substrate ໄດ້.
ການຖິ້ມຊັ້ນປະລໍາມະນູ (ALD)
ALD ແມ່ນເຕັກນິກທີ່ຮູບເງົາຖືກປູກຢູ່ເທິງຊັ້ນໃຕ້ດິນໃນຊັ້ນປະລໍາມະນູ. ມັນຖືກຄວບຄຸມສູງແລະສາມາດສ້າງຮູບເງົາທີ່ຊັດເຈນແລະສອດຄ່ອງຫຼາຍ.
Molecular Beam Epitaxy (MBE)
MBE ແມ່ນເຕັກນິກການເຕີບໃຫຍ່ຂອງ epitaxial ທີ່ beams ຂອງອະຕອມຫຼືໂມເລກຸນຖືກມຸ້ງໄປສູ່ substrate ທີ່ມີຄວາມຮ້ອນເພື່ອສ້າງເປັນຮູບເງົາບາງໆ crystalline.
ຂໍ້ໄດ້ປຽບຂອງການຝາກຮູບເງົາບາງໆ
ການທໍາງານທີ່ປັບປຸງໃຫ້ດີຂຶ້ນ: ຮູບເງົາສາມາດສະຫນອງຄຸນສົມບັດໃຫມ່ໃຫ້ກັບ substrate, ເຊັ່ນ: ການຕໍ່ຕ້ານຮອຍຂີດຂ່ວນຫຼືການນໍາໄຟຟ້າ.
ການຫຼຸດຜ່ອນການນໍາໃຊ້ວັດສະດຸ: ມັນອະນຸຍາດໃຫ້ສ້າງອຸປະກອນທີ່ສະລັບສັບຊ້ອນທີ່ມີການນໍາໃຊ້ວັດສະດຸຫນ້ອຍ, ຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍ.
ການປັບແຕ່ງ: ຮູບເງົາສາມາດຖືກປັບແຕ່ງໃຫ້ມີຄຸນສົມບັດກົນຈັກ, ໄຟຟ້າ, optical, ຫຼືທາງເຄມີສະເພາະ.
ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ
ອຸປະກອນ Semiconductor: Transistors, ວົງຈອນລວມ, ແລະລະບົບເຄື່ອງກົນຈັກຈຸນລະພາກ (MEMS).
ການເຄືອບ Optical: ການເຄືອບຕ້ານການສະທ້ອນແລະສະທ້ອນສູງໃນເລນແລະຈຸລັງແສງຕາເວັນ.
ການເຄືອບປ້ອງກັນ: ເພື່ອປ້ອງກັນການກັດກ່ອນຫຼືສວມໃສ່ກັບເຄື່ອງມືແລະເຄື່ອງຈັກ.
ການ​ນໍາ​ໃຊ້​ທາງ​ຊີ​ວະ​ພາບ​: ການ​ເຄືອບ​ກ່ຽວ​ກັບ​ການ​ປູກ​ຝັງ​ທາງ​ການ​ແພດ​ຫຼື​ລະ​ບົບ​ການ​ໃຫ້​ຢາ​.
ທາງເລືອກຂອງເຕັກນິກການຝາກແມ່ນຂຶ້ນກັບຄວາມຕ້ອງການສະເພາະຂອງຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ, ລວມທັງປະເພດຂອງວັດສະດຸທີ່ຈະຝາກ, ຄຸນສົມບັດຂອງຮູບເງົາທີ່ຕ້ອງການ, ແລະຂໍ້ຈໍາກັດຄ່າໃຊ້ຈ່າຍ.

- ບົດ​ຄວາມ​ນີ້​ໄດ້​ຖືກ​ປ່ອຍ​ອອກ​ມາ​ຈາກ​ຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງເຄືອບສູນຍາກາດGuangdong Zhenhua