Dënnschichtoflagerung ass e fundamentale Prozess, deen an der Hallefleederindustrie, souwéi a ville aner Beräicher vun der Materialwëssenschaft an dem Ingenieurswiesen, benotzt gëtt. Et ëmfaasst d'Schafung vun enger dënner Materialschicht op engem Substrat. Déi ofgesate Schichten kënnen eng breet Palette vun Déckten hunn, vun nëmmen e puer Atomschichten bis zu e puer Mikrometer Déckt. Dës Schichten kënnen eng ganz Rei vun Zwecker déngen, wéi elektresch Leeder, Isolatoren, optesch Beschichtungen oder Schutzbarrièren.
Hei sinn déi wichtegst Methoden, déi fir d'Dënnschichtoflagerung benotzt ginn:
Physikalesch Dampfdepositioun (PVD)
Sputtering: E Stral mat héijer Energie an Ionen gëtt benotzt fir Atomer vun engem Zilmaterial ofzeschloen, dat sech dann op de Substrat ofsetzt.
Verdampfung:** D'Material gëtt am Vakuum erhëtzt bis et verdampft, an dann kondenséiert den Damp um Substrat.
Atomeschichtoflagerung (ALD)
ALD ass eng Technik, bei där e Film op engem Substrat eng atomar Schicht gläichzäiteg ugebaut gëtt. Si ass héich kontrolléiert a kann ganz präzis a konform Filmer erstellen.
Molekularstrahl-Epitaxie (MBE)
MBE ass eng epitaktesch Wuesstechnik, bei där Strale vun Atomer oder Molekülen op en erhëtzte Substrat geriicht ginn, fir e kristalline dënne Film ze bilden.
Virdeeler vun der Dënnfilmoflagerung
Verbessert Funktionalitéit: Folien kënnen dem Substrat nei Eegeschafte ginn, wéi z. B. Kratzfestigkeit oder elektresch Leetfäegkeet.
Reduzéierte Materialverbrauch: Et erméiglecht d'Schafung vu komplexen Apparater mat minimalem Materialverbrauch, wat d'Käschte reduzéiert.
Personnaliséierung: Folien kënnen op spezifesch mechanesch, elektresch, optesch oder chemesch Eegeschafte ugepasst ginn.
Uwendungen
Hallefleiterkomponenten: Transistoren, integréiert Schaltungen a mikroelektromechanesch Systemer (MEMS).
Optesch Beschichtungen: Antireflex- a héichreflexiv Beschichtungen op Lënsen a Solarzellen.
Schutzbeschichtungen: Fir Korrosioun oder Verschleiung vun Tools a Maschinnen ze vermeiden.
Biomedizinesch Uwendungen: Beschichtungen op medizineschen Implantater oder Medikamentenliwwerungssystemer.
D'Wiel vun der Oflagerungstechnik hänkt vun de spezifesche Ufuerderunge vun der Uwendung of, dorënner d'Aart vum Material, dat ofgelagert soll ginn, déi gewënschte Filmeegeschafte an d'Käschtebeschränkungen.
– Dësen Artikel gouf publizéiert vunHiersteller vu VakuumbeschichtungsmaschinnenGuangdong Zhenhua
Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 15. August 2024