Жука пленка катмары жарым өткөргүч өнөр жайында, ошондой эле материал таануунун жана техниканын башка көптөгөн тармактарында колдонулган фундаменталдуу процесс. Бул субстрат боюнча материалдын жука катмарын түзүүнү камтыйт. Депозиттик пленкалар бир нече атомдук катмардан бир нече микрометрге чейин калыңдыктын кеңири диапазонуна ээ болушу мүмкүн. Бул пленкалар электр өткөргүчтөр, изоляторлор, оптикалык каптамалар же коргоочу тосмолор сыяктуу көптөгөн максаттарга кызмат кыла алат.
Бул жерде ичке пленка түшүрүү үчүн колдонулган негизги ыкмалары болуп саналат:
Физикалык буу туташтыруу (PVD)
Чачыруу: Жогорку энергиялуу ион нуру атомдорду максаттуу материалдан түшүрүү үчүн колдонулат, андан кийин ал субстраттын үстүнө түшөт.
буулануу:** Материал бууланганга чейин вакуумда ысытылат, андан кийин буу субстратта конденсацияланат.
Атомдук катмардын жайгашуусу (ALD)
ALD - бул пленканы бир эле учурда бир атомдук катмарда өстүрүүчү ыкма. Ал катуу көзөмөлдөнөт жана абдан так жана конформдуу тасмаларды түзө алат.
Молекулярдык нур эпитаксиясы (MBE)
MBE - бул эпитаксиалдык өсүү ыкмасы, анда атомдордун же молекулалардын нурлары кристаллдык жука пленканы түзүү үчүн ысытылган субстратка багытталган.
Ичке пленканы жайгаштыруунун артыкчылыктары
Өркүндөтүлгөн функционалдуулук: Плёнкалар субстраттын чийилүүгө каршылык же электр өткөргүчтүк сыяктуу жаңы касиеттерин бере алат.
Материалды пайдаланууну кыскартуу: Бул чыгымдарды азайтып, материалды минималдуу колдонуу менен татаал түзүлүштөрдү түзүүгө мүмкүндүк берет.
Настройка: Тасмалар белгилүү бир механикалык, электрдик, оптикалык же химиялык касиеттерге ылайыкташтырылышы мүмкүн.
Тиркемелер
Жарым өткөргүч түзүлүштөр: Транзисторлор, интегралдык микросхемалар жана микроэлектромеханикалык системалар (MEMS).
Оптикалык каптамалар: линзалар жана күн батареялары боюнча чагылтууга каршы жана жогорку чагылдыруучу каптамалар.
Коргоочу каптамалар: Аспаптарды жана машиналарды коррозияга же эскиришине жол бербөө үчүн.
Биомедициналык колдонмолор: Медициналык имплантаттар же дары жеткирүү системалары боюнча каптоо.
Депозиттик техниканы тандоо өтүнмөнүн конкреттүү талаптарына, анын ичинде сактала турган материалдын түрүнө, керектүү пленка касиеттерине жана чыгымдардын чектөөлөрүнө жараша болот.
– Бул макаланы чыгарганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Посттун убактысы: 15-август-2024