Pêçanên PVD (Depozîsyona Buhara Fizîkî) teknîkên berfireh in ji bo çêkirina fîlmên tenik û pêçanên rûvî. Di nav rêbazên hevpar de, buharkirina germî û sputterkirin du pêvajoyên girîng ên PVD ne. Li vir dabeşkirina her yekê heye:
1. Buharbûna Germahî
- Rêzman:Materyal di odeyeke valahiyê de tê germ kirin heta ku buhar bibe an jî bibe sublîmasyon. Piştre madeya buharbûyî li ser substratekê kondens dibe û fîlmek tenik çêdike.
- Doz:
- Materyalek çavkaniyê (metal, seramîk, hwd.) bi gelemperî bi karanîna germkirina berxwedêr, tîrêjên elektronan, an lazerê tê germ kirin.
- Dema ku madde digihîje xala buharbûnê, atom an molekul ji çavkaniyê derdikevin û di valahiyê re ber bi substratê ve diçin.
- Atomên buharbûyî li ser rûyê substratê kom dibin û çînek zirav çêdikin.
- Serlêdan:
- Bi gelemperî ji bo depokirina metal, nîvconductors û îzolatoran tê bikar anîn.
- Serlêdan di nav xwe de pêçandinên optîkî, qedandinên xemilandî, û mîkroelektronîk hene.
- Awantaj:
- Rêjeyên bilind ên tepisandinê.
- Ji bo hin materyalan hêsan û bi arzanî.
- Dikare fîlmên pir paqij hilberîne.
- Dezawantaj:
- Bi materyalên bi xalên helandinê yên nizm an jî zexta buhara bilind ve sînorkirî ye.
- Bergiriya gavên nebaş li ser rûberên tevlihev.
- Kontrola kêmtir li ser pêkhateya fîlmê ji bo alloyan.
2. Sputterkirin
- Prensîb: Îyonên ji plazmayê ber bi materyalê hedef ve tên lezkirin, ev jî dibe sedema avêtina (pifkirina) atoman ji hedefê, ku dû re li ser substratê kom dibin.
- Doz:
- Materyaleke hedef (metal, alloy, hwd.) têxin odeyê, û gazek (bi gelemperî argon) têxin hundir.
- Voltajeke bilind tê sepandin da ku plazma çêbibe, ku gazê iyonîze dike.
- Îyonên bi barkêşa pozîtîf ên ji plazmayê ber bi hedefa bi barkêşa neyînî ve diçin, û bi awayekî fîzîkî atoman ji rûyê erdê vediqetînin.
- Ev atom dû re li ser substratê kom dibin û fîlmek zirav çêdikin.
- Serlêdan:
- Bi berfirehî di çêkirina nîvconductor, pêçandina cama, û çêkirina pêçandinên berxwedêr-lihevhatin de tê bikar anîn.
- Ji bo çêkirina fîlmên tenik ên alloy, seramîk, an tevlihev îdeal e.
- Awantaj:
- Dikare cûrbecûr materyalan, di nav de metal, alloy û oksîd, erd bike.
- Yekrengiya fîlmê û vegirtina gavan a hêja, hetta li ser şeklên tevlihev jî.
- Kontrolkirina rastîn li ser stûriya û pêkhateya fîlmê.
- Dezawantaj:
- Rêjeyên hêdtir ên depokirinê li gorî buharbûna germî.
- Ji ber aloziya alavan û hewcedariya bi enerjiya zêdetir, bihatir e.
Cûdahiyên Sereke:
- Çavkaniya Depozîtoyê:
- Buharbûna germî germê bikar tîne da ku materyalê buhar bike, lê sputterkirin bombebarana iyonan bikar tîne da ku atoman bi awayekî fîzîkî ji hev veqetîne.
- Enerjiya Pêwîst:
- Buharbûna germî bi gelemperî ji sputterkirinê kêmtir enerjiyê hewce dike ji ber ku ew bi germkirinê ve girêdayî ye ne bi çêkirina plazmayê.
- Materyal:
- Sputterkirin dikare ji bo danîna rêzek firehtir ji materyalan were bikar anîn, di nav de yên ku xalên helandinê yên bilind hene û buharbûna wan dijwar e.
- Kalîteya Fîlmê:
- Bi gelemperî, sputtering kontroleke çêtir li ser stûriya fîlmê, yekrengî û pêkhateyê peyda dike.
Dema weşandinê: 27ê Îlonê, 2024