ZCL0608

이 장비는 마그네트론 스퍼터링과 저항 증착 기술을 통합하여 다양한 기판을 코팅하는 솔루션을 제공합니다.
실험용 코팅 장비는 주로 대학 및 과학 연구 기관에서 사용되며, 다양한 실험 요건을 충족할 수 있습니다. 다양한 구조적 타겟을 장비에 할당하여 다양한 분야의 과학 연구 개발에 맞춰 유연하게 구성할 수 있습니다. 마그네트론 스퍼터링 시스템, 캐소드 아크 시스템, 전자빔 증착 시스템, 저항 증착 시스템, CVD, PECVD, 이온 소스, 바이어스 시스템, 가열 시스템, 3차원 고정구 등을 선택할 수 있습니다. 고객은 각자의 필요에 맞춰 장비를 선택할 수 있습니다.
이 장비는 아름다운 외관, 컴팩트한 구조, 작은 바닥 면적, 높은 수준의 자동화, 간단하고 유연한 조작, 안정적인 성능 및 쉬운 유지 보수라는 특징을 가지고 있습니다.
본 장비는 플라스틱, 스테인리스강, 전기도금 하드웨어/플라스틱 부품, 유리, 세라믹 및 기타 소재에 적용할 수 있습니다. 티타늄, 크롬, 은, 구리, 알루미늄과 같은 단순 금속층이나 TiN/TiCN/TiC/TiO2/TiAlN/CrN/ZrN/CrC와 같은 금속 화합물 박막을 제작할 수 있습니다.