ತೆಳುವಾದ ಪದರ ಠೇವಣಿ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ

ತೆಳುವಾದ ಪದರದ ಶೇಖರಣೆಯು ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ಹಾಗೂ ವಸ್ತು ವಿಜ್ಞಾನ ಮತ್ತು ಎಂಜಿನಿಯರಿಂಗ್‌ನ ಇತರ ಹಲವು ಕ್ಷೇತ್ರಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುವ ಒಂದು ಮೂಲಭೂತ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಾಗಿದೆ. ಇದು ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲೆ ವಸ್ತುವಿನ ತೆಳುವಾದ ಪದರವನ್ನು ರಚಿಸುವುದನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತದೆ. ಠೇವಣಿ ಮಾಡಿದ ಪದರಗಳು ಕೆಲವು ಪರಮಾಣು ಪದರಗಳಿಂದ ಹಿಡಿದು ಹಲವಾರು ಮೈಕ್ರೋಮೀಟರ್‌ಗಳ ದಪ್ಪದವರೆಗೆ ವ್ಯಾಪಕ ಶ್ರೇಣಿಯ ದಪ್ಪಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರಬಹುದು. ಈ ಪದರಗಳು ವಿದ್ಯುತ್ ವಾಹಕಗಳು, ನಿರೋಧಕಗಳು, ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಲೇಪನಗಳು ಅಥವಾ ರಕ್ಷಣಾತ್ಮಕ ತಡೆಗೋಡೆಗಳಂತಹ ಅನೇಕ ಉದ್ದೇಶಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಬಲ್ಲವು.

ತೆಳುವಾದ ಪದರದ ಶೇಖರಣೆಗೆ ಬಳಸುವ ಮುಖ್ಯ ವಿಧಾನಗಳು ಇಲ್ಲಿವೆ:
ಭೌತಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ (PVD)
ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್: ಹೆಚ್ಚಿನ ಶಕ್ತಿಯ ಅಯಾನು ಕಿರಣವನ್ನು ಗುರಿ ವಸ್ತುವಿನಿಂದ ಪರಮಾಣುಗಳನ್ನು ಹೊಡೆದುರುಳಿಸಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ನಂತರ ಅದು ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲೆ ಸಂಗ್ರಹವಾಗುತ್ತದೆ.
ಆವಿಯಾಗುವಿಕೆ:** ವಸ್ತುವನ್ನು ಆವಿಯಾಗುವವರೆಗೆ ನಿರ್ವಾತದಲ್ಲಿ ಬಿಸಿಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ನಂತರ ಆವಿಯು ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲೆ ಸಾಂದ್ರೀಕರಿಸುತ್ತದೆ.
ಪರಮಾಣು ಪದರ ಶೇಖರಣೆ (ALD)
ALD ಎನ್ನುವುದು ಒಂದು ತಂತ್ರವಾಗಿದ್ದು, ಇದರಲ್ಲಿ ಒಂದು ಫಿಲ್ಮ್ ಅನ್ನು ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲೆ ಒಂದು ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಒಂದು ಪರಮಾಣು ಪದರದ ಮೇಲೆ ಬೆಳೆಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಇದು ಹೆಚ್ಚು ನಿಯಂತ್ರಿಸಲ್ಪಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಅತ್ಯಂತ ನಿಖರವಾದ ಮತ್ತು ಏಕರೂಪದ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳನ್ನು ರಚಿಸಬಹುದು.
ಆಣ್ವಿಕ ಕಿರಣ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿ (MBE)
MBE ಒಂದು ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ತಂತ್ರವಾಗಿದ್ದು, ಇದರಲ್ಲಿ ಪರಮಾಣುಗಳು ಅಥವಾ ಅಣುಗಳ ಕಿರಣಗಳನ್ನು ಬಿಸಿಯಾದ ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲೆ ನಿರ್ದೇಶಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸ್ಫಟಿಕದಂತಹ ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್ ಅನ್ನು ರೂಪಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ತೆಳುವಾದ ಪದರ ಶೇಖರಣೆಯ ಅನುಕೂಲಗಳು
ವರ್ಧಿತ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ: ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳು ಸ್ಕ್ರಾಚ್ ಪ್ರತಿರೋಧ ಅಥವಾ ವಿದ್ಯುತ್ ವಾಹಕತೆಯಂತಹ ಹೊಸ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ತಲಾಧಾರಕ್ಕೆ ಒದಗಿಸಬಹುದು.
ಕಡಿಮೆಯಾದ ವಸ್ತು ಬಳಕೆ: ಇದು ಕನಿಷ್ಠ ವಸ್ತು ಬಳಕೆಯೊಂದಿಗೆ ಸಂಕೀರ್ಣ ಸಾಧನಗಳನ್ನು ರಚಿಸಲು ಅನುವು ಮಾಡಿಕೊಡುತ್ತದೆ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ವೆಚ್ಚ ಕಡಿಮೆಯಾಗುತ್ತದೆ.
ಗ್ರಾಹಕೀಕರಣ: ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳನ್ನು ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಯಾಂತ್ರಿಕ, ವಿದ್ಯುತ್, ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಅಥವಾ ರಾಸಾಯನಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಹೊಂದಲು ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಬಹುದು.
ಅರ್ಜಿಗಳನ್ನು
ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಸಾಧನಗಳು: ಟ್ರಾನ್ಸಿಸ್ಟರ್‌ಗಳು, ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಮೈಕ್ರೋಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಮೆಕಾನಿಕಲ್ ಸಿಸ್ಟಮ್‌ಗಳು (MEMS).
ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಲೇಪನಗಳು: ಮಸೂರಗಳು ಮತ್ತು ಸೌರ ಕೋಶಗಳ ಮೇಲೆ ಪ್ರತಿಫಲಿತ-ವಿರೋಧಿ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಪ್ರತಿಫಲಿತ ಲೇಪನಗಳು.
ರಕ್ಷಣಾತ್ಮಕ ಲೇಪನಗಳು: ಉಪಕರಣಗಳು ಮತ್ತು ಯಂತ್ರೋಪಕರಣಗಳ ಮೇಲೆ ತುಕ್ಕು ಹಿಡಿಯುವುದು ಅಥವಾ ಸವೆತವನ್ನು ತಡೆಗಟ್ಟಲು.
ಬಯೋಮೆಡಿಕಲ್ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳು: ವೈದ್ಯಕೀಯ ಇಂಪ್ಲಾಂಟ್‌ಗಳು ಅಥವಾ ಔಷಧ ವಿತರಣಾ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳ ಮೇಲಿನ ಲೇಪನಗಳು.
ಠೇವಣಿ ತಂತ್ರದ ಆಯ್ಕೆಯು ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್‌ನ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿರುತ್ತದೆ, ಇದರಲ್ಲಿ ಠೇವಣಿ ಮಾಡಬೇಕಾದ ವಸ್ತುವಿನ ಪ್ರಕಾರ, ಅಪೇಕ್ಷಿತ ಫಿಲ್ಮ್ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಮತ್ತು ವೆಚ್ಚದ ನಿರ್ಬಂಧಗಳು ಸೇರಿವೆ.

–ಈ ಲೇಖನವನ್ನು ಪ್ರಕಟಿಸಿದವರುನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನ ಯಂತ್ರ ತಯಾರಕಗುವಾಂಗ್ಡಾಂಗ್ ಝೆನ್ಹುವಾ