ការទម្លាក់ខ្សែភាពយន្តស្តើងគឺជាដំណើរការជាមូលដ្ឋានដែលត្រូវបានប្រើនៅក្នុងឧស្សាហកម្ម semiconductor ក៏ដូចជានៅក្នុងផ្នែកផ្សេងទៀតជាច្រើននៃវិទ្យាសាស្ត្រសម្ភារ និងវិស្វកម្ម។ វាពាក់ព័ន្ធនឹងការបង្កើតស្រទាប់ស្តើងនៃសម្ភារៈនៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមមួយ។ ខ្សែភាពយន្តដែលបានដាក់អាចមានកម្រាស់ធំទូលាយចាប់ពីស្រទាប់អាតូមិកមួយចំនួនរហូតដល់កម្រាស់មីក្រូម៉ែត្រជាច្រើន។ ខ្សែភាពយន្តទាំងនេះអាចបម្រើគោលបំណងជាច្រើនដូចជា ចំហាយអគ្គិសនី អ៊ីសូឡង់ ថ្នាំកូតអុបទិក ឬរបាំងការពារ។
ខាងក្រោមនេះជាវិធីសាស្រ្តសំខាន់ៗដែលប្រើសម្រាប់ការដាក់ស្រទាប់ស្តើង៖
ការបញ្ចេញចំហាយរាងកាយ (PVD)
Sputtering: ធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងថាមពលខ្ពស់ត្រូវបានប្រើដើម្បីកម្ទេចអាតូមចេញពីវត្ថុធាតុគោលដៅ ដែលបន្ទាប់មកដាក់លើស្រទាប់ខាងក្រោម។
ការហួត៖ ** សម្ភារៈត្រូវបានកំដៅក្នុងកន្លែងទំនេរមួយ រហូតទាល់តែវាហួត ហើយបន្ទាប់មក ចំហាយទឹកនឹងចុះមកលើស្រទាប់ខាងក្រោម។
ការទម្លាក់ស្រទាប់អាតូមិក (ALD)
ALD គឺជាបច្ចេកទេសមួយដែលខ្សែភាពយន្តមួយត្រូវបានដាំដុះនៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមនៃស្រទាប់អាតូមិចក្នុងពេលតែមួយ។ វាត្រូវបានគ្រប់គ្រងយ៉ាងខ្លាំង ហើយអាចបង្កើតភាពយន្តច្បាស់លាស់ និងស្របតាម។
ធ្នឹមម៉ូលេគុល Epitaxy (MBE)
MBE គឺជាបច្ចេកទេសលូតលាស់អេពីតាស៊ីល ដែលធ្នឹមនៃអាតូម ឬម៉ូលេគុលត្រូវបានដឹកនាំទៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមដែលគេឱ្យឈ្មោះថា ដើម្បីបង្កើតជាខ្សែភាពយន្តស្តើងគ្រីស្តាល់។
គុណសម្បត្តិនៃការដាក់ខ្សែភាពយន្តស្តើង
មុខងារប្រសើរឡើង៖ ខ្សែភាពយន្តអាចផ្តល់នូវលក្ខណៈសម្បត្តិថ្មីដល់ស្រទាប់ខាងក្រោម ដូចជាធន់នឹងការកោស ឬចរន្តអគ្គិសនី។
កាត់បន្ថយការប្រើប្រាស់សម្ភារៈ៖ វាអនុញ្ញាតឱ្យបង្កើតឧបករណ៍ស្មុគ្រស្មាញជាមួយនឹងការប្រើប្រាស់សម្ភារៈតិចតួច កាត់បន្ថយការចំណាយ។
ការប្ដូរតាមបំណង៖ ខ្សែភាពយន្តអាចត្រូវបានកែសម្រួលដើម្បីឱ្យមានលក្ខណៈមេកានិច អគ្គិសនី អុបទិក ឬគីមីជាក់លាក់។
កម្មវិធី
ឧបករណ៍ semiconductor៖ ត្រង់ស៊ីស្ទ័រ សៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា និងប្រព័ន្ធមីក្រូអេឡិចត្រូនិច (MEMS) ។
ថ្នាំកូតអុបទិក៖ ថ្នាំកូតប្រឆាំងនឹងការឆ្លុះ និងឆ្លុះបញ្ចាំងខ្ពស់នៅលើកញ្ចក់ និងកោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យ។
ថ្នាំកូតការពារ: ដើម្បីការពារការ corrosion ឬពាក់នៅលើឧបករណ៍និងម៉ាស៊ីន។
កម្មវិធីជីវវេជ្ជសាស្រ្ដ៖ ថ្នាំកូតលើការផ្សាំផ្នែកវេជ្ជសាស្រ្ត ឬប្រព័ន្ធចែកចាយថ្នាំ។
ជម្រើសនៃបច្ចេកទេសនៃការដាក់ប្រាក់អាស្រ័យទៅលើតម្រូវការជាក់លាក់នៃកម្មវិធី រួមទាំងប្រភេទនៃសម្ភារៈដែលត្រូវដាក់ប្រាក់ លក្ខណៈសម្បត្តិនៃខ្សែភាពយន្តដែលចង់បាន និងកម្រិតនៃការចំណាយ។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានចេញផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនបូមធូលីក្វាងទុងហ្សេនហួ
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ១៥-សីហា-២០២៤