Жұқа қабықшаны тұндыру жартылай өткізгіш өнеркәсібінде, сондай-ақ материалтану мен техниканың көптеген басқа салаларында қолданылатын іргелі процесс болып табылады. Ол субстратта материалдың жұқа қабатын жасауды қамтиды. Шөгілген пленкалардың қалыңдығы бірнеше атом қабаттарынан бірнеше микрометрге дейін кең ауқымды болуы мүмкін. Бұл пленкалар электр өткізгіштер, оқшаулағыштар, оптикалық жабындар немесе қорғаныс тосқауылдары сияқты көптеген мақсаттарға қызмет ете алады.
Мұнда жұқа қабықшаны тұндыру үшін қолданылатын негізгі әдістер:
Физикалық бу тұндыру (PVD)
Шашырату: жоғары энергиялы ион сәулесі атомдарды мақсатты материалдан түсіру үшін қолданылады, содан кейін ол субстратқа түседі.
Булану:** Материал буланғанша вакуумда қызады, содан кейін бу субстратта конденсацияланады.
Атом қабатының тұндыру (ALD)
ALD - бұл пленканы субстратта бір атомдық қабатта өсіретін әдіс. Ол жоғары бақыланады және өте дәл және конформды пленкаларды жасай алады.
Молекулярлық сәуле эпитаксисі (MBE)
MBE - эпитаксиалды өсу әдісі, онда атомдар немесе молекулалар сәулелері кристалды жұқа қабықшаны қалыптастыру үшін қыздырылған субстратқа бағытталған.
Жұқа қабықшаны тұндырудың артықшылықтары
Жетілдірілген функционалдылық: пленкалар негізге сызатқа төзімділік немесе электр өткізгіштік сияқты жаңа қасиеттерді бере алады.
Материалды пайдалануды азайту: бұл шығындарды азайту, ең аз материалды пайдаланумен күрделі құрылғыларды жасауға мүмкіндік береді.
Теңшеу: пленкаларды арнайы механикалық, электрлік, оптикалық немесе химиялық қасиеттерге бейімдеуге болады.
Қолданбалар
Жартылай өткізгішті құрылғылар: транзисторлар, интегралдық схемалар және микроэлектромеханикалық жүйелер (MEMS).
Оптикалық жабындар: линзалар мен күн элементтеріндегі шағылысқа қарсы және жоғары шағылыстыратын жабындар.
Қорғаныс жабындары: Құралдар мен машиналарда коррозияны немесе тозуды болдырмау үшін.
Биомедициналық қолданбалар: Медициналық имплантаттардағы немесе дәрі-дәрмек жеткізу жүйелеріндегі жабындар.
Тұндыру техникасын таңдау тұндырылатын материалдың түріне, қалаған пленка қасиеттеріне және шығын шектеулеріне қоса, қолданбаның нақты талаптарына байланысты.
– Бұл мақаланы шығарғанвакуумды қаптау машинасының өндірушісіГуандун Чжэнхуа
Жіберу уақыты: 15 тамыз 2024 ж