თხელი ფირის დეპონირების ტექნოლოგია

თხელი ფენის დატანა ფუნდამენტური პროცესია, რომელიც გამოიყენება ნახევარგამტარების ინდუსტრიაში, ასევე მასალათმცოდნეობისა და ინჟინერიის მრავალ სხვა სფეროში. ის გულისხმობს მასალის თხელი ფენის შექმნას სუბსტრატზე. დატანილ ფენებს შეიძლება ჰქონდეთ სისქის ფართო დიაპაზონი, რამდენიმე ატომური ფენიდან რამდენიმე მიკრომეტრის სისქემდე. ამ ფენებს შეუძლიათ მრავალი დანიშნულება, როგორიცაა ელექტროგამტარები, იზოლატორები, ოპტიკური საფარი ან დამცავი ბარიერები.

ქვემოთ მოცემულია თხელი ფენის დეპონირების ძირითადი მეთოდები:
ფიზიკური ორთქლის დეპონირება (PVD)
გაფრქვევა: მაღალი ენერგიის იონური სხივი გამოიყენება სამიზნე მასალისგან ატომების მოსაშორებლად, რომლებიც შემდეგ სუბსტრატზე ილექება.
აორთქლება:** მასალა თბება ვაკუუმში აორთქლებამდე, შემდეგ კი ორთქლი კონდენსირდება სუბსტრატზე.
ატომური ფენის დეპონირება (ALD)
ALD არის ტექნიკა, რომლის დროსაც აპკი იზრდება სუბსტრატზე ერთდროულად ერთი ატომური ფენით. ის მკაცრად კონტროლირებადია და შეუძლია შექმნას ძალიან ზუსტი და კონფორმული აპკები.
მოლეკულური სხივური ეპიტაქსია (MBE)
MBE არის ეპიტაქსიური ზრდის ტექნიკა, სადაც ატომების ან მოლეკულების სხივები მიმართულია გაცხელებულ სუბსტრატზე კრისტალური თხელი ფენის შესაქმნელად.
თხელი ფენის დეპონირების უპირატესობები
გაუმჯობესებული ფუნქციონალურობა: ფირებს შეუძლიათ სუბსტრატს ახალი თვისებები შესძინონ, როგორიცაა ნაკაწრებისადმი მდგრადობა ან ელექტროგამტარობა.
შემცირებული მასალის გამოყენება: ეს საშუალებას იძლევა შეიქმნას რთული მოწყობილობები მინიმალური მასალის გამოყენებით, რაც ამცირებს ხარჯებს.
პერსონალიზაცია: ფირების მორგება შესაძლებელია კონკრეტული მექანიკური, ელექტრული, ოპტიკური ან ქიმიური თვისებების მიხედვით.
აპლიკაციები
ნახევარგამტარული მოწყობილობები: ტრანზისტორები, ინტეგრირებული სქემები და მიკროელექტრომექანიკური სისტემები (MEMS).
ოპტიკური საფარი: ანტირეფლექსიური და მაღალი რეფლექსიის საფარი ლინზებსა და მზის უჯრედებზე.
დამცავი საფარი: ხელსაწყოებისა და მანქანების კოროზიის ან ცვეთის თავიდან ასაცილებლად.
ბიოსამედიცინო გამოყენება: საფარი სამედიცინო იმპლანტებზე ან წამლის მიწოდების სისტემებზე.
დეპონირების ტექნიკის არჩევანი დამოკიდებულია გამოყენების კონკრეტულ მოთხოვნებზე, მათ შორის დასაფენი მასალის ტიპზე, სასურველ ფირის თვისებებსა და ხარჯთაღრიცხვაზე.

- ეს სტატია გამოქვეყნებულიავაკუუმური საფარის მანქანის მწარმოებელიგუანგდონგ ჟენხუა