Deposisi film tipis minangka proses dhasar sing digunakake ing industri semikonduktor, uga ing akeh bidang ilmu lan teknik material liyane. Iki kalebu nggawe lapisan tipis materi ing substrat. Film sing disimpen bisa duwe macem-macem kekandelan, saka mung sawetara lapisan atom nganti pirang-pirang mikrometer. Film kasebut bisa digunakake kanggo macem-macem tujuan, kayata konduktor listrik, insulator, lapisan optik, utawa penghalang protèktif.
Ing ngisor iki cara utama sing digunakake kanggo deposisi film tipis:
Deposisi Uap Fisik (PVD)
Sputtering: Sinar ion energi dhuwur digunakake kanggo ngalahake atom saka materi target, sing banjur disimpen ing substrat.
Penguapan:** Bahan kasebut dipanasake ing vakum nganti nguap, banjur uap kasebut ngembun ing substrate.
Deposisi Lapisan Atom (ALD)
ALD minangka teknik ing ngendi film ditanam ing substrat siji lapisan atom sekaligus. Dikontrol banget lan bisa nggawe film sing akurat lan konformal.
Molecular Beam Epitaxy (MBE)
MBE minangka teknik pertumbuhan epitaxial ing ngendi sinar atom utawa molekul diarahake menyang substrat sing digawe panas kanggo mbentuk film tipis kristal.
Kaluwihan saka Thin Film Deposition
Fungsi sing ditingkatake: Film bisa nyedhiyakake sifat anyar kanggo substrat, kayata tahan gores utawa konduktivitas listrik.
Panggunaan materi suda: Ngidini nggawe piranti rumit kanthi panggunaan materi minimal, nyuda biaya.
Kustomisasi: Film bisa disesuaikan kanthi sifat mekanik, listrik, optik, utawa kimia tartamtu.
Aplikasi
Piranti semikonduktor: Transistor, sirkuit terpadu, lan sistem mikroelektromekanik (MEMS).
Lapisan optik: Lapisan anti-reflektif lan dhuwur-reflektif ing lensa lan sel surya.
Lapisan protèktif: Kanggo nyegah karat utawa nyandhang ing piranti lan mesin.
Aplikasi biomedis: Lapisan ing implan medis utawa sistem pangiriman obat.
Pilihan teknik deposisi gumantung karo syarat khusus aplikasi, kalebu jinis materi sing bakal disimpen, sifat film sing dikarepake, lan watesan biaya.
– Artikel iki dirilis deningpabrikan mesin lapisan vakumGuangdong Zhenhua
Wektu kirim: Aug-15-2024