Kaluwihan Peralatan
1. Konfigurasi Fungsional Scalable
Nggunakake desain arsitektur modular, ndhukung mode produksi cepet massal, saéngga nambah, mbusak, lan reorganisasi kamar fungsional kanthi cepet. Tata letak baris produksi bisa diatur kanthi fleksibel miturut kabutuhan produksi.
2. Solusi Teknologi Coating Presisi
Inovatif nggunakake teknologi sputtering target puteran sudut cilik sing digabungake karo solusi medan magnet sing dioptimalake kanggo entuk ngisi struktur bolongan sing efisien.
3. Adoption saka Rotating Struktur Target
Struktur iki ngirit kerugian materi lapisan lan nambah panggunaan materi target. Uga nyuda siklus panggantos target, saéngga nambah efisiensi produksi.
4. Kaluwihan Kontrol Proses
Liwat optimalisasi paramèter sputtering magnetron lan teknologi deposisi sinkron kaping pindho, efisiensi lapisan komponen struktural komplèks tambah apik, dene tingkat mundhut materi suda.
Aplikasi:Bisa nyiyapake macem-macem lapisan film logam siji-unsur kayata Ti, Cu, Al, Sn, Cr, Ag, Ni, lan liya-liyane. Iki digunakake kanthi akeh ing komponen elektronik semikonduktor, kayata substrat keramik DPC, kapasitor keramik, termistor, braket keramik LED, lsp.