Ahịrị mkpuchi ahụ na-eji usoro modular eme ihe, nke nwere ike ime ka ụlọ ahụ dịkwuo elu dịka usoro na arụmọrụ siri dị, a pụkwara ikpuchi ya n'akụkụ abụọ, nke na-agbanwe agbanwe ma dịkwa mfe. E ji sistemụ nhicha ion, sistemụ kpo oku ngwa ngwa na sistemụ sputtering magnetron DC mee ya, ọ nwere ike itinye mkpuchi ígwè dị mfe nke ọma. Ngwa ahụ nwere ike ịkụ ngwa ngwa, ijide ihe dị mma ma dịkwa elu.
Ejiri usoro nhicha ion na usoro ime achịcha dị elu mee ihe mkpuchi ahụ, yabụ njikọta nke ihe nkiri ahụ dị mma. Obere akụkụ na-efesa nke nwere ihe mgbaru ọsọ na-agbagharị agbagharị dị mma maka itinye ihe nkiri ahụ n'elu ime nke obere oghere.
1. Ngwaọrụ ahụ nwere obere nhazi na obere ala.
2. Sistemụ ikuku ahụ nwere ọkpọkọ molekul maka mwepụ ikuku, yana obere oriri ike.
3. Nlaghachi akpaka nke ihe eji echekwa ihe na-azọpụta ndị mmadụ.
4. Enwere ike ịchọpụta paramita usoro ahụ, a pụkwara inyocha usoro mmepụta ahụ n'usoro ahụ dum iji mee ka ọ dị mfe ịchọpụta ntụpọ mmepụta.
5. Ahịrị mkpuchi ahụ nwere oke akpaaka. Enwere ike iji ya na manipulator jikọọ usoro ihu na azụ ma belata ọnụ ahịa ọrụ.
Ọ nwere ike dochie mbipụta ọlaọcha na capacitor n'ime usoro mmepụta, yana arụmọrụ dị elu na ọnụ ala.
Ọ dabara na Ti, Cu, Al, Cr, Ni, Ag, Sn na ọla ndị ọzọ dị mfe. A na-ejikarị ya eme ihe n'ọtụtụ ihe eletrọniki semiconductor, dịka ihe ndị e ji seramiiki mee, ihe ndị e ji seramiiki mee, ihe nkwado seramiiki led, wdg.