ÀPÈJÚWE ỌJÀ

Ìlà ìbòrí náà gba ìṣètò modular, èyí tí ó lè mú kí yàrá náà pọ̀ sí i gẹ́gẹ́ bí ìlànà àti ìlànà iṣẹ́ ṣe béèrè, a sì lè fi bo ẹ̀gbẹ́ méjèèjì, èyí tí ó rọrùn tí ó sì rọrùn. Pẹ̀lú ètò ìwẹ̀nùmọ́ ion, ètò ìgbóná kíákíá àti ètò sputtering DC magnetron, ó lè fi ìbòrí irin tí ó rọrùn sínú rẹ̀ dáadáa. Ohun èlò náà ní ìlù kíákíá, ìdènà tí ó rọrùn àti iṣẹ́ gíga.

A fi ẹ̀rọ ìwẹ̀nùmọ́ ion àti ètò yíyan nǹkan tó ní iwọ̀n otútù gíga sí i lára ​​àwọn ohun èlò ìbòrí náà, nítorí náà, ìsopọ̀ fíìmù tí a fi pamọ́ dára jù. Ìgun kékeré tí ó ń yípo pẹ̀lú ibi tí a fẹ́ yípo dára fún fífi fíìmù náà sí ojú inú ihò kékeré.

1. Ohun èlò náà ní ìrísí kékeré àti ilẹ̀ kékeré.
2. Eto afẹfẹ naa ni ipese pẹlu fifa molikula fun yiyọ afẹfẹ, pẹlu agbara kekere.
3. Àtúnpadà àpò ohun èlò láìfọwọ́sí ara ẹni máa ń gba agbára ènìyàn là.
4. A le tọpinpin awọn ipa ilana naa, a si le ṣe abojuto ilana iṣelọpọ ni gbogbo ilana naa lati ṣe iranlọwọ fun wiwa awọn abawọn iṣelọpọ.
5. Okùn ìbòrí náà ní ìwọ̀n gíga ti ìdákọ́ńkọ́. A lè lò ó pẹ̀lú olùdarí láti so àwọn iṣẹ́ iwájú àti ẹ̀yìn pọ̀ kí ó sì dín iye owó iṣẹ́ kù.