製品説明

コーティングラインはモジュール構造を採用しており、プロセスと効率要件に応じてチャンバーを拡張でき、両面コーティングも可能なため、柔軟性と利便性に優れています。イオン洗浄システム、急速加熱システム、DCマグネトロンスパッタリングシステムを備え、シンプルな金属コーティングを効率的に堆積できます。本装置は、高速ビート、便利なクランプ、高効率を特徴としています。

コーティングラインにはイオン洗浄システムと高温ベーキングシステムが搭載されており、成膜された膜の密着性が向上します。回転ターゲットを用いた小角スパッタリングは、小口径の内面への成膜に最適です。

1. 装置はコンパクトな構造で、床面積も小さいです。
2. 真空システムには、空気抽出用の分子ポンプが装備されており、エネルギー消費量が少なくなっています。
3. 材料ラックの自動返却により人手を節約します。
4. プロセスパラメータを追跡でき、生産プロセスをプロセス全体で監視できるため、生産上の欠陥の追跡が容易になります。
5. コーティングラインは高度な自動化を実現しており、マニピュレーターと併用することで前工程と後工程を連携させ、人件費を削減できます。