טכנולוגיית שקיעת שכבה דקה

שקיעת שכבה דקה היא תהליך בסיסי המשמש בתעשיית המוליכים למחצה, כמו גם בתחומים רבים אחרים של מדע והנדסת חומרים. היא כוללת יצירת שכבה דקה של חומר על גבי מצע. שכבות השקיעה יכולות להיות בעלות מגוון רחב של עוביים, החל מכמה שכבות אטומיות ועד לעובי של כמה מיקרומטרים. שכבות אלו יכולות לשמש למטרות רבות, כגון מוליכים חשמליים, מבודדים, ציפויים אופטיים או מחסומי הגנה.

להלן השיטות העיקריות המשמשות להדבקת שכבה דקה:
שקיעת אדים פיזית (PVD)
התזה: אלומת יונים בעלת אנרגיה גבוהה משמשת להפלת אטומים מחומר מטרה, אשר לאחר מכן שוקעים על המצע.
אידוי:** החומר מחומם בוואקום עד שהוא מתאדה, ולאחר מכן האדים מתעבים על המצע.
שקיעת שכבות אטומיות (ALD)
ALD היא טכניקה שבה סרט גדל על גבי מצע, שכבה אטומית אחת בכל פעם. היא מבוקרת מאוד ויכולה ליצור סרטים מדויקים ותואמים מאוד.
אפיטקסיה של קרן מולקולרית (MBE)
MBE היא טכניקת גידול אפיטקסיאלית שבה קרני אטומים או מולקולות מכוונות אל מצע מחומם ליצירת שכבה דקה גבישית.
יתרונות של שקיעת שכבה דקה
פונקציונליות משופרת: סרטים יכולים לספק תכונות חדשות למצע, כגון עמידות בפני שריטות או מוליכות חשמלית.
שימוש מופחת בחומרים: זה מאפשר יצירת מכשירים מורכבים עם שימוש מינימלי בחומרים, ובכך להפחית עלויות.
התאמה אישית: ניתן להתאים סרטים לתכונות מכניות, חשמליות, אופטיות או כימיות ספציפיות.
יישומים
התקני מוליכים למחצה: טרנזיסטורים, מעגלים משולבים ומערכות מיקרו-אלקטרומכניות (MEMS).
ציפויים אופטיים: ציפויים נוגדי השתקפות וציפויים בעלי השתקפות גבוהה על עדשות ותאים סולאריים.
ציפויי מגן: למניעת קורוזיה או בלאי של כלים ומכונות.
יישומים ביו-רפואיים: ציפויים על שתלים רפואיים או מערכות להובלת תרופות.
בחירת טכניקת השיקוע תלויה בדרישות הספציפיות של היישום, כולל סוג החומר שיש להשקיע, תכונות הסרט הרצויות ואילוצי העלות.

–מאמר זה פורסם על ידייצרן מכונות ציפוי ואקוםגואנגדונג ז'נהואה