Ihe mkpuchi PVD: evaporation thermal na sputtering

A na-eji ihe mkpuchi PVD (Vapor Deposition) eme ihe n'ọtụtụ ebe maka imepụta ihe nkiri dị mkpa na mkpuchi elu. N'ime ụzọ ndị a na-ahụkarị, ikuku ikuku na sputtering bụ usoro PVD abụọ dị mkpa. Nke a bụ ndakpọ nke ọ bụla:

1. Thermal evaporation

• Ụkpụrụ:A na-ekpo ọkụ n'ime ụlọ na-ekpo ọkụ ruo mgbe ọ na-ekpochapụ ma ọ bụ mebie ya. Ihe a na-ekpo ọkụ na-agbakọba na mkpụrụ iji mepụta fim dị mkpa.
• Usoro:
• A na-ekpo ọkụ ihe eji eme ihe (ọla, seramiiki, wdg), na-ejikarị kpo oku na-eguzogide, ọkụ eletrik, ma ọ bụ laser.
• Ozugbo ihe ahụ rutere n'ebe ikpochapu ya, atom ma ọ bụ ụmụ irighiri ihe na-ahapụ ebe ahụ wee si na oghere ahụ banye na mkpụrụ.
• Atọm ndị ahụ kpochapuru na-agbakọta n'elu mkpụrụ ahụ, na-akpụ oyi akwa.
• Ngwa:
• A na-ejikarị echekwa ọla, semiconductor, na insulators.
• Ngwa gụnyere mkpuchi anya, ihe ịchọ mma, na microelectronics.
• Uru:
• Ọnụ ego nkwụnye ego dị elu.
• Dị mfe na ọnụ ahịa maka ụfọdụ ihe.
• Nwere ike imepụta ihe nkiri dị oke ọcha.
• Ihe ọghọm:
• Na-ejedebe na ihe ndị nwere ihe mgbaze dị ala ma ọ bụ nrụgide ikuku dị elu.
• Mkpuchi nzọụkwụ na-adịghị mma n'elu ebe dị mgbagwoju anya.
• Obere njikwa maka ihe nkiri ihe nkiri maka alloys.

2. Ịgbasa

• Ụkpụrụ: A na-agbaba ion sitere na plasma ngwa ngwa gaa n'ihe ezubere iche, na-eme ka awụpụ atom (sputtered) na ebumnuche, wee tinye ya na mkpụrụ.
• Usoro:
• A na-etinye ihe ezubere iche (igwe, alloy, wdg) n'ime ụlọ ahụ, a na-ebute gas (nke a na-emekarị argon).
• A na-etinye voltaji dị elu iji mepụta plasma, nke na-eme ka ikuku ionizes.
• A na-eme ka ion ndị a na-akwụ ụgwọ dị mma sitere na plasma na-aga n'ihu n'ebumnuche na-adịghị mma, na-ewepụ atom site n'elu.
• Atọm ndị a wee tinye na mkpụrụ osisi ahụ, na-akpụ ihe nkiri dị mkpa.
• Ngwa:
• A na-eji ya eme ihe n'ichepụta semiconductor, iko mkpuchi, na ịmepụta mkpuchi na-eguzogide.
• Dị mma maka ịmepụta alloy, seramiiki, ma ọ bụ ihe nkiri dị mkpa dị mgbagwoju anya.
• Uru:
• Nwere ike idobe ihe dị iche iche, gụnyere ọla, alloys na oxides.
• Ịdị n'otu ihe nkiri mara mma na mkpuchi nzọụkwụ, ọbụlagodi na ụdị mgbagwoju anya.
• Njikwa ziri ezi n'elu ọkpụrụkpụ ihe nkiri na ihe mejupụtara.
• Ihe ọghọm:
• Ọnụ ego nkwụnye ego dị nwayọọ ma e jiri ya tụnyere ikuku ikuku.
• Dị oke ọnụ n'ihi mgbagwoju akụrụngwa na mkpa maka ike dị elu.

Ndịiche dị mkpa:

• Isi mmalite nke nkwụnye ego:
• evaporation thermal na-eji okpomọkụ na-ekpochapụ ihe, ebe sputtering na-eji ion bombardment na-ekpochapụ atom.
• Ike achọrọ:
• evaporation thermal na-achọkarị ike dị obere karịa ịgbasa n'ihi na ọ dabere na kpo oku karịa ọgbọ plasma.
• Akụrụngwa:
• Enwere ike iji sputtering na-etinye ihe dị iche iche, gụnyere ndị nwere nnukwu agbaze, nke siri ike ịpụpụ.
• Ogo ihe nkiri:
• Ịgbasa n'ozuzu na-enye njikwa ka mma karịa ọkpụrụkpụ ihe nkiri, ịdị n'otu, na nhazi.