Deposisi lapisan tipis merupakan proses mendasar yang digunakan dalam industri semikonduktor, serta dalam banyak bidang ilmu dan rekayasa material lainnya. Proses ini melibatkan pembuatan lapisan tipis material pada substrat. Lapisan tipis yang diendapkan dapat memiliki ketebalan yang bervariasi, mulai dari beberapa lapisan atom hingga beberapa mikrometer tebalnya. Lapisan tipis ini dapat digunakan untuk berbagai keperluan, seperti konduktor listrik, isolator, pelapis optik, atau penghalang pelindung.
Berikut adalah metode utama yang digunakan untuk pengendapan film tipis:
Deposisi Uap Fisik (PVD)
Sputtering: Sinar ion berenergi tinggi digunakan untuk menjatuhkan atom dari bahan target, yang kemudian mengendap pada substrat.
Penguapan:** Bahan dipanaskan dalam ruang hampa hingga menguap, lalu uapnya mengembun pada substrat.
Deposisi Lapisan Atom (ALD)
ALD adalah teknik di mana film ditumbuhkan pada substrat satu lapisan atom pada satu waktu. Teknik ini sangat terkontrol dan dapat menghasilkan film yang sangat presisi dan sesuai.
Epitaksi Berkas Molekuler (MBE)
MBE adalah teknik pertumbuhan epitaksial di mana berkas atom atau molekul diarahkan ke substrat yang dipanaskan untuk membentuk film tipis kristal.
Keuntungan Deposisi Lapisan Tipis
Peningkatan fungsionalitas: Film dapat memberikan sifat baru pada substrat, seperti ketahanan gores atau konduktivitas listrik.
Penggunaan material yang berkurang: Memungkinkan terciptanya perangkat yang rumit dengan penggunaan material minimal, sehingga mengurangi biaya.
Kustomisasi: Film dapat disesuaikan untuk memiliki sifat mekanik, listrik, optik, atau kimia tertentu.
Aplikasi
Perangkat semikonduktor: Transistor, sirkuit terpadu, dan sistem mikroelektromekanis (MEMS).
Pelapis optik: Pelapis anti-reflektif dan sangat reflektif pada lensa dan sel surya.
Lapisan pelindung: Untuk mencegah korosi atau keausan pada peralatan dan mesin.
Aplikasi biomedis: Pelapis pada implan medis atau sistem pengiriman obat.
Pemilihan teknik pengendapan bergantung pada persyaratan khusus aplikasi, termasuk jenis material yang akan diendapkan, sifat film yang diinginkan, dan kendala biaya.
–Artikel ini dirilis olehprodusen mesin pelapis vakumGuangdong Zhenhua
Waktu posting: 15-Agu-2024