Բարակ թաղանթի նստեցման տեխնոլոգիա

Բարակ թաղանթների նստեցումը կիսահաղորդչային արդյունաբերության, ինչպես նաև նյութագիտության և ճարտարագիտության շատ այլ ոլորտներում օգտագործվող հիմնարար գործընթաց է: Այն ներառում է նյութի բարակ շերտի ստեղծում հիմքի վրա: Նստեցված թաղանթները կարող են ունենալ հաստության լայն տեսականի՝ մի քանի ատոմային շերտերից մինչև մի քանի միկրոմետր հաստություն: Այս թաղանթները կարող են ծառայել բազմաթիվ նպատակների, ինչպիսիք են էլեկտրական հաղորդիչները, մեկուսիչները, օպտիկական ծածկույթները կամ պաշտպանիչ արգելքները:

Ահա բարակ թաղանթների տեղադրման համար օգտագործվող հիմնական մեթոդները.
Ֆիզիկական գոլորշու նստեցում (ՖԳՆ)
Ցողում. Բարձր էներգիայի իոնային փունջն օգտագործվում է ատոմները թիրախային նյութից դուրս նետելու համար, որոնք այնուհետև նստում են հիմքի վրա։
Գոլորշիացում։** Նյութը տաքացվում է վակուումում մինչև գոլորշիանալը, որից հետո գոլորշիները խտանում են հիմքի վրա։
Ատոմային շերտի նստեցում (ALD)
ԱԼԴ-ն տեխնիկա է, որի դեպքում թաղանթը սուբստրատի վրա աճեցվում է մեկ ատոմային շերտով։ Այն խիստ վերահսկվող է և կարող է ստեղծել շատ ճշգրիտ և կոնֆորմալ թաղանթներ։
Մոլեկուլային ճառագայթային էպիտաքսիա (MBE)
MBE-ն էպիտաքսիալ աճի տեխնիկա է, որտեղ ատոմների կամ մոլեկուլների փնջերն ուղղվում են տաքացված հիմքի վրա՝ բյուրեղային բարակ թաղանթ ձևավորելու համար։
Բարակ թաղանթային նստեցման առավելությունները
Բարելավված ֆունկցիոնալություն. թաղանթները կարող են հիմքին հաղորդել նոր հատկություններ, ինչպիսիք են քերծվածքի դիմադրությունը կամ էլեկտրահաղորդականությունը:
Նյութի օգտագործման կրճատում. Այն թույլ է տալիս ստեղծել բարդ սարքեր՝ նվազագույն նյութական օգտագործմամբ, ինչը նվազեցնում է ծախսերը։
Անհատականացում. Ֆիլմերը կարող են հարմարեցվել՝ ունենալու համար որոշակի մեխանիկական, էլեկտրական, օպտիկական կամ քիմիական հատկություններ:
Դիմումներ
Կիսահաղորդչային սարքեր՝ տրանզիստորներ, ինտեգրալ սխեմաներ և միկրոէլեկտրամեխանիկական համակարգեր (MEMS):
Օպտիկական ծածկույթներ. ոսպնյակների և արևային մարտկոցների վրա նախատեսված հակաանդրադարձնող և բարձր անդրադարձնող ծածկույթներ։
Պաշտպանիչ ծածկույթներ՝ գործիքների և մեքենաների կոռոզիան կամ մաշվածությունը կանխելու համար։
Կենսաբժշկական կիրառություններ. Բժշկական իմպլանտների կամ դեղերի ներարկման համակարգերի վրա ծածկույթներ։
Տեղադրման տեխնիկայի ընտրությունը կախված է կիրառման կոնկրետ պահանջներից, ներառյալ տեղակայվող նյութի տեսակը, ցանկալի թաղանթի հատկությունները և գնային սահմանափակումները։

- Այս հոդվածը հրապարակվել էվակուումային ծածկույթների մեքենայի արտադրողԳուանդուն Չժենհուա