Ֆիզիկական գոլորշիացման նստեցման (PVD) ծածկույթները լայնորեն կիրառվող տեխնիկա են բարակ թաղանթներ և մակերեսային ծածկույթներ ստեղծելու համար: Տարածված մեթոդների շարքում ջերմային գոլորշիացումը և փոշիացումը երկու կարևոր PVD գործընթացներ են: Ահա յուրաքանչյուրի մանրամասն նկարագրությունը.
1. Ջերմային գոլորշիացում
- Սկզբունք՝Նյութը տաքացվում է վակուումային խցիկում մինչև այն գոլորշիանա կամ սուբլիմացվի։ Այնուհետև գոլորշիացած նյութը խտանում է հիմքի վրա՝ առաջացնելով բարակ թաղանթ։
- Գործընթաց՝
- Աղբյուրի նյութը (մետաղ, կերամիկա և այլն) տաքացվում է, սովորաբար դիմադրողական տաքացման, էլեկտրոնային փնջի կամ լազերի միջոցով։
- Երբ նյութը հասնում է իր գոլորշիացման կետին, ատոմները կամ մոլեկուլները լքում են աղբյուրը և վակուումի միջով անցնում են հիմքին։
- Գոլորշիացված ատոմները խտանում են հիմքի մակերեսին՝ կազմելով բարակ շերտ։
- Կիրառություններ՝
- Հաճախ օգտագործվում է մետաղների, կիսահաղորդիչների և մեկուսիչների կուտակման համար։
- Կիրառությունները ներառում են օպտիկական ծածկույթներ, դեկորատիվ մշակումներ և միկրոէլեկտրոնիկա։
- Առավելություններ՝
- Բարձր կուտակման մակարդակներ:
- Պարզ և մատչելի որոշակի նյութերի համար։
- Կարող է արտադրել բարձր մաքրության ֆիլմեր։
- Թերություններ՝
- Սահմանափակված է ցածր հալման կետերով կամ բարձր գոլորշու ճնշում ունեցող նյութերով։
- Վատ աստիճանների ծածկույթ բարդ մակերեսների վրա։
- Համաձուլվածքների համար թաղանթի կազմի նկատմամբ ավելի քիչ վերահսկողություն։
2. Ցողում
- Սկզբունք՝ պլազմայից իոնները արագանում են դեպի թիրախային նյութը, ինչի հետևանքով ատոմները դուրս են մղվում (փոշիացվում) թիրախից, որոնք այնուհետև նստում են հիմքի վրա։
- Գործընթաց՝
- Թիրախային նյութը (մետաղ, համաձուլվածք և այլն) տեղադրվում է խցիկում, և ներմուծվում է գազ (սովորաբար արգոն):
- Բարձր լարում է կիրառվում պլազմա ստեղծելու համար, որը իոնացնում է գազը։
- Պլազմայից դրական լիցքավորված իոնները արագանում են դեպի բացասական լիցքավորված թիրախը՝ ֆիզիկապես հեռացնելով ատոմները մակերեսից։
- Այս ատոմները այնուհետև նստում են հիմքի վրա՝ ձևավորելով բարակ թաղանթ։
- Կիրառություններ՝
- Լայնորեն օգտագործվում է կիսահաղորդիչների արտադրության, ապակու ծածկույթների և մաշվածությանը դիմացկուն ծածկույթների ստեղծման մեջ։
- Իդեալական է համաձուլվածքային, կերամիկական կամ բարդ բարակ թաղանթներ ստեղծելու համար։
- Առավելություններ՝
- Կարող է նստեցնել նյութերի լայն տեսականի, այդ թվում՝ մետաղներ, համաձուլվածքներ և օքսիդներ։
- Գերազանց թաղանթի միատարրություն և աստիճանների ծածկույթ, նույնիսկ բարդ ձևերի վրա։
- Ֆիլմի հաստության և կազմի ճշգրիտ վերահսկողություն։
- Թերություններ՝
- Ջերմային գոլորշիացման համեմատ ավելի դանդաղ նստեցման արագություն։
- Ավելի թանկ է սարքավորումների բարդության և ավելի բարձր էներգիայի պահանջարկի պատճառով։
Հիմնական տարբերությունները՝
- Տեղադրման աղբյուրը՝
- Ջերմային գոլորշիացումը օգտագործում է ջերմություն նյութը գոլորշիացնելու համար, մինչդեռ փոշիացումը օգտագործում է իոնային ռմբակոծություն՝ ատոմները ֆիզիկապես հեռացնելու համար։
- Պահանջվող էներգիա՝
- Ջերմային գոլորշիացումը սովորաբար պահանջում է ավելի քիչ էներգիա, քան փոշիացումը, քանի որ այն հիմնված է տաքացման, այլ ոչ թե պլազմայի առաջացման վրա։
- Նյութեր՝
- Ցողումը կարող է օգտագործվել ավելի լայն շրջանակի նյութերի նստեցման համար, այդ թվում՝ բարձր հալման ջերմաստիճան ունեցողների, որոնք դժվար է գոլորշիացնել։
- Ֆիլմի որակը։
- Ցողումը, ընդհանուր առմամբ, ապահովում է թաղանթի հաստության, միատարրության և կազմի ավելի լավ վերահսկողություն:
Հրապարակման ժամանակը. Սեպտեմբերի 27-2024