A vékonyréteg-leválasztás egy alapvető eljárás, amelyet a félvezetőiparban, valamint az anyagtudomány és a mérnöki tudományok számos más területén alkalmaznak. Ez egy vékony anyagréteg létrehozását jelenti egy hordozón. A lerakódott filmek vastagsága széles skálán mozoghat, a néhány atomrétegtől a több mikrométer vastagságig. Ezek a filmek számos célt szolgálhatnak, például elektromos vezetőként, szigetelőként, optikai bevonatként vagy védőrétegként.
Íme a vékonyréteg-leválasztás főbb módszerei:
Fizikai gőzfázisú leválasztás (PVD)
Porlasztás: Nagy energiájú ionsugarat használnak az atomok leválasztására a célanyagról, amely ezután lerakódik az aljzatra.
Párolgás:** Az anyagot vákuumban melegítik, amíg elpárolog, majd a gőz lecsapódik az aljzaton.
Atomi rétegleválasztás (ALD)
Az ALD egy olyan technika, amelynek során egy filmet atomi rétegenként növesztenek egy hordozóra. Ez a technika rendkívül kontrollált, és nagyon pontos és konform filmeket hoz létre.
Molekulasugaras epitaxia (MBE)
Az MBE egy epitaxiális növekedési technika, ahol atom- vagy molekulasugarakat irányítanak egy fűtött hordozóra, hogy kristályos vékonyréteget képezzenek.
A vékonyréteg-leválasztás előnyei
Továbbfejlesztett funkcionalitás: A fóliák új tulajdonságokat kölcsönözhetnek az aljzatnak, például karcállóságot vagy elektromos vezetőképességet.
Csökkentett anyagfelhasználás: Lehetővé teszi komplex eszközök létrehozását minimális anyagfelhasználással, csökkentve a költségeket.
Testreszabás: A fóliák testreszabhatók, hogy meghatározott mechanikai, elektromos, optikai vagy kémiai tulajdonságokkal rendelkezzenek.
Alkalmazások
Félvezető eszközök: tranzisztorok, integrált áramkörök és mikroelektromechanikus rendszerek (MEMS).
Optikai bevonatok: Tükröződésgátló és nagy fényvisszaverő képességű bevonatok lencséken és napelemeken.
Védőbevonatok: Szerszámok és gépek korróziójának vagy kopásának megakadályozására.
Biomedicinális alkalmazások: Bevonatok orvosi implantátumokon vagy gyógyszeradagoló rendszereken.
A leválasztási technika megválasztása az alkalmazás sajátos követelményeitől függ, beleértve a lerakandó anyag típusát, a kívánt filmtulajdonságokat és a költségkorlátokat.
– Ezt a cikket a következő tette közzé:vákuumbevonó gép gyártóGuangdong Zhenhua
Közzététel ideje: 2024. augusztus 15.