Felszerelés előnye
1. Skálázható funkcionális konfiguráció
Moduláris architektúrájának köszönhetően támogatja a tömeges gyorsgyártási módokat, lehetővé téve a funkcionális kamrák gyors hozzáadását, eltávolítását és átszervezését. A gyártósor elrendezése rugalmasan igazítható a termelési igényekhez.
2. Precíziós bevonatolási technológiai megoldás
Innovatív módon alkalmazza a kis szögben forgó célpont porlasztási technológiáját optimalizált mágneses térmegoldással kombinálva az átmenő furatszerkezetek hatékony kitöltéséhez.
3. Forgó célszerkezet alkalmazása
Ez a szerkezet csökkenti a bevonóanyag-veszteséget és javítja a célanyag-kihasználást. Emellett csökkenti a célanyag-csere ciklusát, ezáltal növelve a termelési hatékonyságot.
4. Folyamatszabályozási előnyök
A magnetronos porlasztási paraméterek optimalizálásával és a kétoldalas szinkron leválasztási technológiával jelentősen javul a komplex szerkezeti alkatrészek bevonatolási hatékonysága, miközben csökken az anyagveszteség mértéke.
Alkalmazás:Különböző egyelemű fémrétegek, például Ti, Cu, Al, Sn, Cr, Ag, Ni stb. előállítására alkalmas. Széles körben használják félvezető elektronikai alkatrészekben, például DPC kerámia aljzatokban, kerámia kondenzátorokban, termisztorokban, LED kerámia konzolokban stb.