Depozisyon fim mens se yon pwosesis fondamantal yo itilize nan endistri semi-kondiktè a, ansanm ak nan anpil lòt domèn syans materyèl ak jeni. Li enplike kreyasyon yon kouch materyèl mens sou yon substra. Fim yo depoze yo ka gen yon pakèt epesè, soti nan jis kèk kouch atomik rive nan plizyè mikwomèt epesè. Fim sa yo ka sèvi plizyè objektif, tankou kondiktè elektrik, izolan, kouch optik, oswa baryè pwoteksyon.
Men metòd prensipal yo itilize pou depozisyon fim mens:
Depozisyon Fizik Vapè (PVD)
Pulverizasyon: Yo itilize yon gwo bout bwa iyon ki gen anpil enèji pou retire atòm yo sou yon materyèl sib, ki answit depoze sou substra a.
Evaporasyon:** Yo chofe materyèl la nan yon vid jiskaske li evapore, epi apre sa vapè a kondanse sou substra a.
Depozisyon Kouch Atomik (ALD)
ALD se yon teknik kote yo fè yon fim grandi sou yon substra, yon kouch atomik alafwa. Li trè kontwole epi li ka kreye fim trè presi ak konfòm.
Epitaksi gwo bout bwa molekilè (MBE)
MBE se yon teknik kwasans epitaksyal kote yo dirije gwo bout atòm oswa molekil sou yon substra chofe pou fòme yon fim mens cristalline.
Avantaj Depozisyon Fim Mens
Fonksyonalite amelyore: Fim yo ka bay nouvo pwopriyete nan substra a, tankou rezistans kont reyur oswa konduktivite elektrik.
Rediksyon nan itilizasyon materyèl: Li pèmèt kreyasyon aparèy konplèks avèk yon minimòm itilizasyon materyèl, sa ki diminye depans yo.
Pèsonalizasyon: Yo ka adapte fim yo pou yo gen pwopriyete mekanik, elektrik, optik oswa chimik espesifik.
Aplikasyon yo
Aparèy semi-kondiktè: Tranzistò, sikwi entegre, ak sistèm mikwoelektromekanik (MEMS).
Kouch optik: Kouch anti-reflèktif ak gwo reflèktif sou lantiy ak selil solè.
Kouch pwoteksyon: Pou anpeche korozyon oswa mete sou zouti ak machin.
Aplikasyon byomedikal: Kouch sou enplant medikal oswa sistèm livrezon dwòg.
Chwa teknik depozisyon an depann de egzijans espesifik aplikasyon an, tankou kalite materyèl ki pral depoze a, pwopriyete fim nan vle a, ak kontrent pri yo.
–Atik sa a pibliye pamanifakti machin kouch vakyòmGuangdong Zhenhua
Dat piblikasyon: 15 Out 2024