Kouch PVD: Evaporasyon tèmik ak pulverizasyon

Kouch PVD (Depozisyon Vapè Fizik) yo se teknik ki lajman itilize pou kreye fim mens ak kouch sifas. Pami metòd komen yo, evaporasyon tèmik ak pulverizasyon se de pwosesis PVD enpòtan. Men yon detay sou chak:

1. Evaporasyon tèmik

• Prensip:Yo chofe materyèl la nan yon chanm vakyòm jiskaske li evapore oswa li vin siblime. Apre sa, materyèl ki vaporize a kondanse sou yon substra pou fòme yon fim mens.
• Pwosesis:
• Yo chofe yon materyèl sous (metal, seramik, elatriye), anjeneral lè l sèvi avèk chofaj rezistif, gwo bout bwa elektwon, oswa lazè.
• Yon fwa materyèl la rive nan pwen evaporasyon li, atòm oswa molekil yo kite sous la epi vwayaje nan vid la pou rive nan substra a.
• Atòm evapore yo kondanse sou sifas substrat la, fòme yon kouch mens.
• Aplikasyon yo:
• Souvan itilize pou depoze metal, semi-kondiktè, ak izolan.
• Aplikasyon yo enkli kouch optik, fini dekoratif, ak mikwoelektwonik.
• Avantaj:
• Gwo pousantaj depo.
• Senp epi pri-efikas pou sèten materyèl.
• Ka pwodui fim ki gen yon pi bon kalite.
• Dezavantaj:
• Limite a materyèl ki gen pwen fizyon ki ba oswa presyon vapè ki wo.
• Pòv kouvèti mach eskalye sou sifas konplèks.
• Mwens kontwòl sou konpozisyon fim pou alyaj yo.

2. Sputtering

• Prensip: Iyon ki soti nan yon plasma akselere nan direksyon yon materyèl sib, sa ki lakòz atòm yo soti (katouch) nan sib la, ki answit depoze sou substrat la.
• Pwosesis:
• Yo mete yon materyèl sib (metal, alyaj, elatriye) nan chanm lan, epi yo entwodui yon gaz (jeneralman agon).
• Yo aplike yon vòltaj ki wo pou kreye yon plasma, ki iyonize gaz la.
• Iyon chaje pozitivman ki soti nan plasma a akselere nan direksyon sib ki chaje negatif la, sa ki dekole fizikman atòm yo sou sifas la.
• Atòm sa yo depoze sou substra a, pou fòme yon fim mens.
• Aplikasyon yo:
• Lajman itilize nan fabrikasyon semi-kondiktè, kouch vè, ak kreye kouch rezistan a mete.
• Ideyal pou kreye alyaj, seramik, oswa fim mens konplèks.
• Avantaj:
• Ka depoze yon pakèt materyèl, tankou metal, alyaj, ak oksid.
• Ekselan inifòmite fim ak pwoteksyon mach eskalye, menm sou fòm konplèks.
• Kontwòl presi sou epesè ak konpozisyon fim nan.
• Dezavantaj:
• To depozisyon ki pi dousman konpare ak evaporasyon tèmik.
• Pi chè akòz konpleksite ekipman an ak bezwen pou plis enèji.

Diferans kle yo:

• Sous Depozisyon an:
• Evaporasyon tèmik itilize chalè pou evapore materyèl, alòske pulverizasyon itilize bonbadman iyon pou deloge atòm yo fizikman.
• Enèji ki nesesè:
• Evaporasyon tèmik tipikman mande mwens enèji pase pulverizasyon paske li depann sou chofaj olye de jenerasyon plasma.
• Materyèl:
• Yo ka itilize pulverizasyon pou depoze yon pi gwo seri materyèl, tankou sa yo ki gen pwen fizyon ki wo, ki difisil pou evapore.
• Kalite fim:
• Anjeneral, pulverizasyon bay pi bon kontwòl sou epesè fim nan, inifòmite, ak konpozisyon.