Taloženje tankih filmova temeljni je proces koji se koristi u poluvodičkoj industriji, kao i u mnogim drugim područjima znanosti o materijalima i inženjerstva. Uključuje stvaranje tankog sloja materijala na podlozi. Taloženi filmovi mogu imati širok raspon debljina, od samo nekoliko atomskih slojeva do nekoliko mikrometara. Ovi filmovi mogu poslužiti u mnoge svrhe, kao što su električni vodiči, izolatori, optički premazi ili zaštitne barijere.
Evo glavnih metoda koje se koriste za taloženje tankih filmova:
Fizičko taloženje iz parne faze (PVD)
Raspršivanje: Visokoenergetski ionski snop koristi se za odbijanje atoma s ciljanog materijala, koji se zatim taloži na podlogu.
Isparavanje:** Materijal se zagrijava u vakuumu dok ne ispari, a zatim se para kondenzira na podlozi.
Taloženje atomskog sloja (ALD)
ALD je tehnika u kojoj se film uzgaja na podlozi, atomski sloj po atom. Visoko je kontrolirana i može stvoriti vrlo precizne i konformne filmove.
Molekularna epitaksija snopa (MBE)
MBE je epitaksijalna tehnika rasta u kojoj se snopovi atoma ili molekula usmjeravaju na zagrijanu podlogu kako bi se formirao tanki kristalni film.
Prednosti taloženja tankih filmova
Poboljšana funkcionalnost: Filmovi mogu podlozi dati nova svojstva, poput otpornosti na ogrebotine ili električne vodljivosti.
Smanjena upotreba materijala: Omogućuje izradu složenih uređaja s minimalnom upotrebom materijala, smanjujući troškove.
Prilagođavanje: Filmovi se mogu prilagoditi kako bi imali specifična mehanička, električna, optička ili kemijska svojstva.
Primjene
Poluvodički uređaji: tranzistori, integrirani krugovi i mikroelektromehanički sustavi (MEMS).
Optički premazi: Antirefleksni i visokoreflektirajući premazi na lećama i solarnim ćelijama.
Zaštitni premazi: Za sprječavanje korozije ili trošenja alata i strojeva.
Biomedicinske primjene: Premazi na medicinskim implantatima ili sustavima za isporuku lijekova.
Izbor tehnike nanošenja ovisi o specifičnim zahtjevima primjene, uključujući vrstu materijala koji se nanosi, željena svojstva filma i ograničenja troškova.
–Ovaj članak objavljujeproizvođač strojeva za vakuumsko premazivanjeGuangdong Zhenhua
Vrijeme objave: 15. kolovoza 2024.