Prednost opreme
1. Skalabilna funkcionalna konfiguracija
Koristeći modularni arhitektonski dizajn, podržava masovne brze načine proizvodnje, omogućujući brzo dodavanje, uklanjanje i reorganizaciju funkcionalnih komora. Raspored proizvodne linije može se fleksibilno prilagoditi prema potrebama proizvodnje.
2. Rješenje za tehnologiju preciznog premazivanja
Inovativna primjena tehnologije raspršivanja rotirajućih meta pod malim kutom u kombinaciji s optimiziranim rješenjem magnetskog polja za postizanje učinkovitog ispunjavanja struktura kroz rupe.
3. Usvajanje rotirajuće ciljne strukture
Ova struktura smanjuje gubitak materijala premaza i poboljšava iskorištenje materijala mete. Također smanjuje ciklus zamjene mete, čime se povećava učinkovitost proizvodnje.
4. Prednosti upravljanja procesima
Optimizacijom parametara magnetronskog raspršivanja i tehnologijom dvostranog sinkronog nanošenja, značajno se poboljšava učinkovitost premazivanja složenih strukturnih komponenti, a smanjuje se stopa gubitka materijala.
Primjena:Sposoban za pripremu različitih slojeva metalnih filmova od jednog elementa kao što su Ti, Cu, Al, Sn, Cr, Ag, Ni itd. Široko se koristi u poluvodičkim elektroničkim komponentama, kao što su DPC keramičke podloge, keramički kondenzatori, termistori, keramički nosači LED dioda itd.