Nā uhi PVD: ʻO ka hoʻoheheʻe wela a me ka sputtering

ʻO ka PVD (Physical Vapor Deposition) nā ʻenehana i hoʻohana nui ʻia no ka hana ʻana i nā kiʻi ʻoniʻoni ʻoniʻoni a me nā uhi ʻili. Ma waena o nā hana maʻamau, ʻo ka evaporation thermal a me ka sputtering ʻelua mau kaʻina PVD koʻikoʻi. Eia ka wehewehe ʻana o kēlā me kēia:

1. ʻO ka hoʻoheheʻe wela

• Kumu:Hoʻomaʻamaʻa ʻia ka mea i loko o kahi keʻena ʻāwī a hiki i ka evaporates a i ʻole sublimates. A laila hoʻokuʻu ka mea i hoʻoheheʻe ʻia ma luna o kahi substrate e hana i kahi kiʻiʻoniʻoni lahilahi.
• Kaʻina hana:
• Hoʻomaʻamaʻa ʻia kahi mea kumu (metala, keramika, a me nā mea ʻē aʻe) me ka hoʻohana pinepine ʻana i ka hoʻomehana kū'ē, ka uila uila, a i ʻole ka laser.
• Ke hiki ka mea i kona wahi e hoʻoheheʻe ʻia, haʻalele nā ​​atom a i ʻole nā ​​molekele i ke kumu a hele i loko o ka mole a hiki i ka substrate.
• ʻO nā ʻātoma evaporated condense ma luna o ka ʻili o ka substrate, e hana ana i kahi ʻāpana lahilahi.
• Nā noi:
• Hoʻohana maʻamau e waiho i nā metala, semiconductor, a me nā insulators.
• Hoʻopili ʻia nā noi i nā uhi opi, hoʻopau hoʻonaninani, a me nā microelectronics.
• Pono:
• Nā uku hoʻopaʻa kiʻekiʻe.
• Maʻalahi a maʻalahi no kekahi mau mea.
• Hiki ke hana i nā kiʻiʻoniʻoni maʻemaʻe loa.
• Nā hemahema:
• Ua kaupalena ʻia i nā mea me nā wahi heheʻe haʻahaʻa a i ʻole nā ​​kaomi mahu kiʻekiʻe.
• Ka uhi ʻana i ka pae ʻino ma luna o nā ʻili paʻakikī.
• Hoʻemi liʻiliʻi ma luna o ka haku mele kiʻiʻoniʻoni no nā alloys.

2. Sputtering

• Kumu: Hoʻokē ʻia nā iona mai ka plasma i kahi mea i hoʻopaʻa ʻia, e hoʻokuʻu ʻia nā atoms mai ka pahu hopu, a laila waiho ʻia ma luna o ka substrate.
• Kaʻina hana:
• Hoʻokomo ʻia kahi mea i manaʻo ʻia (metala, alloy, etc.) i loko o ke keʻena, a hoʻokomo ʻia kahi kinoea (maʻamau argon).
• Hoʻohana ʻia ka volta kiʻekiʻe e hana i kahi plasma, ka mea e hoʻokaʻawale i ke kinoea.
• Hoʻolalelale ʻia nā iona i hoʻopiʻi maikaʻi ʻia mai ka plasma i ka pahu hoʻopiʻi ʻino, e hoʻoneʻe kino ana i nā atom mai ka ʻili.
• A laila waiho kēia mau ʻātoma ma luna o ka substrate, e hana ana i kahi kiʻiʻoniʻoni lahilahi.
• Nā noi:
• Hoʻohana nui ʻia i ka hana semiconductor, ka uhi aniani, a me ka hana ʻana i nā pale lole pale.
• He kūpono no ka hana ʻana i nā kiʻi ʻoniʻoni ʻoniʻoni, seramika, a paʻakikī paha.
• Pono:
• Hiki ke waiho i nā ʻano mea like ʻole, e like me nā metala, nā ʻāpana, a me nā oxides.
• ʻO ka like ʻana o ke kiʻiʻoniʻoni maikaʻi loa a me ka uhi ʻana i ka pae, ʻoiai ma nā ʻano paʻakikī.
• Ka mana pololei i ka mānoanoa a me ka haku mele.
• Nā hemahema:
• ʻOi aku ka liʻiliʻi o ka hoʻoheheʻe ʻana i ka wela.
• ʻOi aku ke kumukūʻai ma muli o ka paʻakikī o nā mea hana a me ka pono o ka ikehu kiʻekiʻe.

Nā ʻokoʻa nui:

• Puna o ka waiho ʻana:
• Hoʻohana ka hoʻoheheʻe wela i ka wela no ka hoʻoheheʻe ʻana i nā mea, aʻo ka sputtering e hoʻohana i ka hoʻoheheʻe ʻana i ka ion e hoʻopau kino i nā ʻātoma.
• Pono ka ikehu:
• ʻOi aku ka liʻiliʻi o ka ikehu ma mua o ka sputtering ma muli o ka hilinaʻi ʻana i ka wela ma mua o ka hana plasma.
• Mea Hana:
• Hiki ke hoʻohana ʻia ka sputtering no ka waiho ʻana i kahi ākea ākea o nā mea, me nā mea me nā wahi hoʻoheheʻe kiʻekiʻe, a paʻakikī ke evaporate.
• ʻAno kiʻiʻoniʻoni:
• Hāʻawi ka Sputtering i ka mana ʻoi aku ka maikaʻi ma luna o ka mānoanoa kiʻiʻoniʻoni, kūlike, a me ka haku mele.