Còmhdaichean PVD: Falmhachadh teirmeach agus sputtering

Tha còmhdach PVD (Physical Vapor Deposition) nan dòighean a thathas a’ cleachdadh gu farsaing airson filmichean tana agus còmhdach uachdar a chruthachadh. Am measg nan dòighean cumanta, tha falmhachadh teirmeach agus sputtering nan dà phròiseas PVD cudromach. Seo briseadh sìos de gach fear:

1. Falmhachadh Teirmeach

• Prionnsabal:Tha stuth air a theasachadh ann an seòmar falamh gus am bi e a’ falmhachadh no a’ fàs nas ìsle. ​​Bidh an stuth a tha air a ghalachadh an uairsin a’ dùmhlachadh air fo-strat gus film tana a chruthachadh.
• Pròiseas:
• Bithear a’ teasachadh stuth tùsail (meatailt, ceirmeag, msaa.), mar as trice a’ cleachdadh teasachadh resistive, beam electron, no laser.
• Cho luath ‘s a ruigeas an stuth a phuing falmhachaidh, fàgaidh dadaman no moileciuilean an stòr agus siubhailidh iad tron ​​​​​​fhalamh chun an t-substrate.
• Bidh na dadaman a tha air an galachadh a’ dlùthadh air uachdar an t-substrate, a’ cruthachadh sreath tana.
• Tagraidhean:
• Gu cumanta air a chleachdadh airson meatailtean, leth-chonnsadairean agus inslitheoirí a thasgadh.
• Tha tagraidhean a’ toirt a-steach còmhdach optaigeach, crìochnaidhean sgeadachaidh, agus meanbh-eileagtronaigeach.
• Buannachdan:
• Ìrean tasgaidh àrd.
• Sìmplidh agus cosg-èifeachdach airson stuthan sònraichte.
• Faodaidh e filmichean fìor-ghlan a dhèanamh.
• Eas-bhuannachdan:
• Earranta ri stuthan le puingean leaghaidh ìosal no cuideaman smùide àrd.
• Droch chòmhdach ceum thairis air uachdaran iom-fhillte.
• Nas lugha smachd air co-dhèanamh film airson aloidhean.

2. Spùtadh

• Prionnsabal: Tha ianan bho phlasma air an luathachadh a dh’ionnsaigh stuth targaid, ag adhbhrachadh gun tèid dadaman a thilgeil a-mach (a spùtadh) bhon targaid, a bhios an uairsin a’ tasgadh air an t-substrate.
• Pròiseas:
• Tha stuth targaid (meatailt, aloidh, msaa.) air a chur anns an t-seòmar, agus tha gas (argon mar as trice) air a thoirt a-steach.
• Cuirear bholtaids àrd an sàs gus plasma a chruthachadh, a bhios ag ianachadh a’ ghasa.
• Tha na h-ianan le cosgais dheimhinneach bhon phlasma air an luathachadh a dh’ionnsaigh an targaid le cosgais àicheil, a’ gluasad dadaman bhon uachdar gu corporra.
• Bidh na dadaman sin an uair sin a’ tasgadh air an t-substrate, a’ cruthachadh film tana.
• Tagraidhean:
• Air a chleachdadh gu farsaing ann an saothrachadh leth-chonnsachaidh, còmhdach glainne, agus cruthachadh chòtaichean a tha an aghaidh caitheamh.
• Freagarrach airson filmichean tana aloidh, ceirmeag, no iom-fhillte a chruthachadh.
• Buannachdan:
• Faodaidh e raon farsaing de stuthan a thasgadh, nam measg meatailtean, aloidhean, agus ocsaidean.
• Co-ionannachd film agus còmhdach ceum sàr-mhath, eadhon air cumaidhean iom-fhillte.
• Smachd mionaideach air tiughas agus co-dhèanamh an fhilm.
• Eas-bhuannachdan:
• Ìrean tasgaidh nas slaodaiche an taca ri falmhachadh teirmeach.
• Nas daoire air sgàth iom-fhillteachd an uidheamachd agus an fheum air barrachd lùtha.

Prìomh Eadar-dhealachaidhean:

• Stòr an Tasgaidh:
• Bidh falmhachadh teirmeach a’ cleachdadh teas gus stuth a fhalmhachadh, agus bidh sputtering a’ cleachdadh bomadh ian gus dadaman a thoirt às a chèile gu corporra.
• Lùth a dh’fheumar:
• Mar as trice bidh nas lugha de lùth a dhìth airson falmhachadh teirmeach na airson sputtering leis gu bheil e an urra ri teasachadh seach gineadh plasma.
• Stuthan:
• Faodar sputtering a chleachdadh gus raon nas fharsainge de stuthan a thasgadh, a’ gabhail a-steach an fheadhainn le puingean leaghaidh àrd, a tha duilich an falmhachadh.
• Càileachd Film:
• Mar as trice, bheir sputtering smachd nas fheàrr air tiughas, cunbhalachd agus co-dhèanamh film.