Laitteiden etu
1. Skaalautuva toiminnallinen kokoonpano
Modulaarisen arkkitehtuurinsa ansiosta se tukee massatuotantoa nopeilla menetelmillä, mikä mahdollistaa toiminnallisten kammioiden nopean lisäämisen, poistamisen ja uudelleenjärjestelyn. Tuotantolinjan asettelua voidaan joustavasti mukauttaa tuotantotarpeiden mukaan.
2. Tarkkuuspinnoitusteknologiaratkaisu
Hyödyntämällä innovatiivisesti pienikulmaista pyörivän kohteen sputterointitekniikkaa yhdistettynä optimoituun magneettikenttäratkaisuun läpireikärakenteiden tehokkaan täyttämisen saavuttamiseksi.
3. Pyörivän kohderakenteen käyttöönotto
Tämä rakenne vähentää pinnoitemateriaalin hävikkiä ja parantaa kohdemateriaalin hyödyntämistä. Se myös lyhentää kohdemateriaalin vaihtosykliä, mikä parantaa tuotannon tehokkuutta.
4.Prosessinhallinnan edut
Magnetronisputterointiparametrien ja kaksipuolisen synkronisen pinnoitustekniikan optimoinnin avulla monimutkaisten rakenneosien pinnoitustehokkuutta parannetaan merkittävästi ja samalla materiaalihävikki vähenee.
Sovellus:Pystyy valmistamaan erilaisia yksielementtisiä metallikalvokerroksia, kuten Ti, Cu, Al, Sn, Cr, Ag, Ni jne. Sitä käytetään laajalti puolijohdeelektroniikkakomponenteissa, kuten DPC-keraamisissa alustoissa, keraamisissa kondensaattoreissa, termistoreissa, LED-keraamisissa kiinnikkeissä jne.