مزیت تجهیزات
پیکربندی عملکردی مقیاسپذیر
با بهرهگیری از طراحی معماری ماژولار، از حالتهای تولید انبوه و سریع پشتیبانی میکند و امکان اضافه کردن، حذف و سازماندهی مجدد سریع محفظههای کاربردی را فراهم میکند. چیدمان خط تولید را میتوان با توجه به نیازهای تولید به صورت انعطافپذیر تنظیم کرد.
2. راهکار فناوری پوشش دقیق
با استفاده نوآورانه از فناوری کندوپاش چرخشی با زاویه کوچک همراه با یک راهکار میدان مغناطیسی بهینه شده، پر کردن کارآمد ساختارهای سوراخدار به دست میآید.
۳. استفاده از ساختار هدف چرخان
این ساختار از هدر رفتن مواد پوشش جلوگیری کرده و استفاده از مواد هدف را بهبود میبخشد. همچنین چرخه جایگزینی هدف را کاهش میدهد و در نتیجه راندمان تولید را افزایش میدهد.
مزایای کنترل فرآیند ۴.
از طریق بهینهسازی پارامترهای کندوپاش مگنترون و فناوری رسوب همزمان دو طرفه، راندمان پوششدهی اجزای ساختاری پیچیده به طور قابل توجهی بهبود مییابد، در حالی که میزان اتلاف مواد کاهش مییابد.
کاربرد:قادر به تهیه لایههای مختلف فیلم فلزی تک عنصری مانند Ti، Cu، Al، Sn، Cr، Ag، Ni و غیره است. این ماده به طور گسترده در قطعات الکترونیکی نیمه هادی مانند زیرلایههای سرامیکی DPC، خازنهای سرامیکی، ترمیستورها، براکتهای سرامیکی LED و غیره استفاده میشود.