Film meheen deposizioa erdieroaleen industrian erabiltzen den oinarrizko prozesua da, baita materialen zientzia eta ingeniaritzako beste hainbat arlotan ere. Substratu batean material geruza mehe bat sortzea dakar. Gordailatutako filmek lodiera sorta zabala izan dezakete, geruza atomiko gutxi batzuetatik hasi eta mikrometro batzuetako lodieraraino. Film hauek hainbat helburu izan ditzakete, hala nola eroale elektrikoak, isolatzaileak, estaldura optikoak edo babes-hesiak.
Hona hemen film meheen metaketarako erabiltzen diren metodo nagusiak:
Lurrun-deposizio fisikoa (PVD)
Sputtering: Energia handiko ioi-sorta bat erabiltzen da atomoak material batetik kentzeko, eta ondoren material hau substratuan metatzen da.
Lurruntzea:** Materiala hutsean berotzen da lurrundu arte, eta gero lurruna substratuan kondentsatzen da.
Geruza Atomikoen Deposizioa (ALD)
ALD teknika bat da, non film bat substratu batean geruza atomiko bana aldi berean hazten den. Oso kontrolatuta dago eta film oso zehatzak eta konformanteak sor ditzake.
Molekulen Izpien Epitaxia (MBE)
MBE hazkuntza epitaxialeko teknika bat da, non atomo edo molekula sorta substratu berotu baten gainean zuzentzen diren film kristalino mehe bat osatzeko.
Film meheen deposizioaren abantailak
Funtzionaltasun hobetua: Filmek propietate berriak eman diezazkiokete substratuari, hala nola marraduraren aurkako erresistentzia edo eroankortasun elektrikoa.
Material gutxiago erabiltzea: Material gutxieneko erabilerarekin gailu konplexuak sortzea ahalbidetzen du, kostuak murriztuz.
Pertsonalizazioa: Filmak propietate mekaniko, elektriko, optiko edo kimiko espezifikoak izan ditzaten egokitu daitezke.
Aplikazioak
Erdieroaleen gailuak: transistoreak, zirkuitu integratuak eta sistema mikroelektromekanikoak (MEMS).
Estaldura optikoak: Lenteetan eta eguzki-zeluletan islatzearen aurkako eta islatze handiko estaldurak.
Babes-estaldurak: Tresnen eta makinen korrosioa edo higadura saihesteko.
Aplikazio biomedikoak: inplante medikoetan edo sendagaiak emateko sistemetan estaldurak.
Jalkitze teknikaren aukera aplikazioaren eskakizun espezifikoen araberakoa da, besteak beste, jaulki beharreko material mota, nahi diren filmaren propietateak eta kostu mugak.
–Artikulu hau argitaratu duhutsean estaltzeko makina fabrikatzaileaGuangdong Zhenhua
Argitaratze data: 2024ko abuztuaren 15a