Õhukeste kilede sadestamine on pooljuhtide tööstuses, aga ka paljudes teistes materjaliteaduse ja -tehnika valdkondades kasutatav põhiprotsess. See hõlmab õhukese materjalikihi loomist aluspinnale. Sadestatud kilede paksus võib olla väga erinev, alates mõnest aatomikihist kuni mitme mikromeetri paksuseni. Neid kilesid saab kasutada mitmel otstarbel, näiteks elektrijuhtidena, isolaatoritena, optiliste katetena või kaitsebarjääridena.
Õhukeste kilede sadestamise peamised meetodid on järgmised:
Füüsikaline aurustamine-sadestamine (PVD)
Pihustamine: suure energiaga ioonkiirt kasutatakse aatomite koputamiseks sihtmaterjalilt, mis seejärel sadestub aluspinnale.
Aurustamine:** Materjali kuumutatakse vaakumis, kuni see aurustub, ja seejärel kondenseerub aur aluspinnale.
Aatomkihtide sadestamine (ALD)
ALD on tehnika, mille puhul kasvatatakse kile substraadile üks aatomkiht korraga. See on väga kontrollitud ja sellega saab luua väga täpseid ja konformseid kilesid.
Molekulaarkiire epitaksia (MBE)
MBE on epitaksiaalne kasvutehnika, kus aatomite või molekulide kiired suunatakse kuumutatud substraadile, moodustades kristallilise õhukese kile.
Õhukese kile sadestamise eelised
Täiustatud funktsionaalsus: Kiled võivad anda aluspinnale uusi omadusi, näiteks kriimustuskindluse või elektrijuhtivuse.
Materjalikulu vähendamine: See võimaldab luua keerukaid seadmeid minimaalse materjalikuluga, vähendades seeläbi kulusid.
Kohandamine: Kilesid saab kohandada nii, et neil oleksid konkreetsed mehaanilised, elektrilised, optilised või keemilised omadused.
Rakendused
Pooljuhtseadised: transistorid, integraallülitused ja mikroelektromehaanilised süsteemid (MEMS).
Optilised katted: peegeldusvastased ja kõrgpeegeldavad katted läätsedel ja päikesepatareidel.
Kaitsekatted: tööriistade ja masinate korrosiooni või kulumise vältimiseks.
Biomeditsiinilised rakendused: meditsiiniliste implantaatide või ravimite manustamissüsteemide katted.
Sadestamistehnika valik sõltub rakenduse konkreetsetest nõuetest, sealhulgas sadestatava materjali tüübist, soovitud kile omadustest ja kulupiirangutest.
– Selle artikli avaldasvaakumkatmismasinate tootjaGuangdongi Zhenhua
Postituse aeg: 15. august 2024